ORS｜搭载 PLASMA GUARD™ 结合 Fraunhofer IST 技术合作的高精密反应性溅镀量产平台

为主流光学镀膜大量产打造的高精密反应性溅镀多用途平台

光学镀膜的市场应用极为广泛 —— 从手机外观的视觉差异化、中阶运动眼镜的多功能整合、到手机面板的 AR + AF 处理，每一种应用都有独特的制程需求，但也共同面临着「稳定量产、批次一致、长期可靠」的核心挑战。对于量产规模庞大、产品周期短、成本控制严苛的消费电子与装饰镀膜产业，客户真正需要的不是极限性能，而是「高精密层级的批次一致性 + 多用途弹性 + 大量生产」三方兼具的可靠设备。

大永真空 ORS 光学溅镀镀膜设备（Optical Reactive Sputter）是基于大永多年光学溅镀整合经验所推出的高精密多用途反应性溅镀量产平台。 ORS 将大永深度优化的反应性磁控溅镀架构、大永自有 PLASMA GUARD™ 电浆监控系统、多靶位弹性配置与标配 AF 抗指纹模组整合于同一平台，可同时涵盖手机外观装饰、中阶运动眼镜、手机面板 AR + AF三大主流应用，为消费电子品牌、手机外壳厂、中阶运动眼镜品牌、平片光学元件厂提供稳定可靠的多用途反应性溅镀大量产解决方案。

PLASMA GUARD™ 电浆监控核心｜大永自有反应性溅镀主动式精准控制系统

反应性溅镀制程最常见的痛点，是「制程漂移」 —— 靶材状态、反应气体浓度、电浆放电稳定度都会随时间漂移，直接影响膜厚均匀性与光谱特性的长期一致性。传统反应性溅镀设备依赖定期校正与经验操作，难以维持大批量量产所需的批次间一致性，这是反应性溅镀制程一直以来的核心技术挑战。

ORS 标配大永真空自有研发的 PLASMA GUARD™ 电浆监控系统（Plasma Monitoring System），即时侦测反应性溅镀过程中的电浆状态变化 —— 包括放电稳定度、反应气体浓度影响、制程漂移趋势。透过即时电浆讯号回馈，PLASMA GUARD™ 能精准调控反应性溅镀条件，使薄膜成分与沉积状态维持在稳定区间，有效降低反应气体波动所造成的膜厚不均与光学特性偏移问题。 PLASMA GUARD™ 为大永真空自有商标与自有研发成果，是大永独家拥有的反应性溅镀主动控制核心，从根本解决反应性溅镀的长期一致性难题，为需要 24／7 连续量产、大批量出货的客户提供业界少见的「制程级稳定性保证」。

结合 Fraunhofer IST 技术合作｜欧洲顶尖研究机构制程稳定性 know-how 导入

为进一步提升 PLASMA GUARD™ 在反应性溅镀制程的精准控制能力，大永真空与德国 Fraunhofer IST（Fraunhofer Institute for Surface Engineering and Thin Films,夫朗和斐表面工程与薄膜研究所）展开技术合作，将 Fraunhofer IST 在反应性溅镀制程稳定性领域累积的 30+ 年工业实作 know-how 导入 ORS 平台。 Fraunhofer IST 是欧洲在反应性溅镀制程控制领域的顶尖研究机构，其技术合作对象同时包括 VON ARDENNE OPTA X 旗舰平台。

PLASMA GUARD™ 的大永自有电浆监控核心，结合 Fraunhofer IST 的反应性溅镀制程稳定性 know-how，让 ORS 在「制程稳定性、良率水准、批次一致性」三大核心指标达成业界领先水准，正式从通用量产平台跃升为高精密光学溅镀镀膜设备系列的一员。对于 ORS 客户而言，这代表「大永自有电浆监控品牌（PLASMA GUARD™）+ 德国研究机构技术背书（Fraunhofer IST）+ 大量产经济性」三方兼具的高精密反应性溅镀解决方案 —— 这是业界少见的双重技术背书组合。

反应性溅镀核心技术｜金属靶材活化反应沉积氧化物与氮化物薄膜

反应性溅镀（Reactive Sputtering）是当代光学镀膜产业最广泛采用的薄膜沉积技术 —— 透过金属靶材在反应性气体（O₂、N₂）环境中溅镀，在基板表面形成致密的氧化物或氮化物薄膜。相较于使用昂贵陶瓷靶材的非反应性溅镀，反应性溅镀以「金属靶 + 反应气体」实现氧化物薄膜沉积，材料成本可大幅降低，长期量产的经济效益更佳，是光学镀膜量产的主流制程选择。

ORS 采用大永深度优化的反应性磁控溅镀架构，搭配大永自有 PLASMA GUARD™ 电浆监控与 Fraunhofer IST 技术合作 know-how，从靶材配置、反应气体流场设计、到电浆放电参数均针对反应性制程的长期稳定性进行精准调校。配合多靶位弹性配置，ORS 可同时处理金属靶与化合物靶，实现多层光学膜系的精密堆叠，为高精密大量产应用提供业界领先的反应性溅镀解决方案。

多靶位弹性配置 + AF 模组标配｜三大应用一机完成

ORS 的核心设计理念是「高精密通用平台」 —— 同一台设备可依客户实际需求，在装饰镀膜、AR 抗反射膜、AF 抗指纹三大主流应用之间自由切换。腔体采用多靶位弹性设计，相容多种金属与化合物靶材；标配 AF 抗指纹模组，可实现「光学功能 + 抗指纹」整合制程。在 PLASMA GUARD™ 结合 Fraunhofer IST 技术合作的双重加持下，即使切换不同应用，ORS 仍能维持高精密层级的制程稳定性。

以当代手机外壳镀膜需求为例 —— 一片手机保护玻璃常需同时实现「装饰色彩（视觉差异化） + AR 抗反射（视觉品质） + AF 抗指纹（易清洁）」三重功能。传统做法需要在不同设备间转移基板，不仅制程繁杂、污染风险高，且大幅增加设备投资成本。 ORS 透过多靶位 + AF 模组的整合设计，可在同一机台、同一腔体内依序完成这三大制程，大幅简化客户的生产流程与设备投资门槛。

模组化选配设计｜对应从基础到进阶的多元制程需求

ORS 采用模组化选配设计，客户可依实际应用需求,选择加装 ICP 感应耦合电浆源、IAD 离子辅助系统、HiPIMS 高功率脉冲电源、加热模组、多色靶座配置等进阶模组，进一步提升膜层致密度、附着力、特殊光学特性等性能指标。

ORS 提供 1300、1500、1800 三种腔体规格，对应不同产能规模需求 —— 从中型量产线到大规模产线皆能涵盖。设备整体设计兼顾「操作便利性 + 维护简易性 + 高稼动率」，确保客户在实际生产环境中维持稳定产出与最佳化的营运成本。