MPS｜为手机面板量身打造的高产能溅镀解决方案

为手机面板与消费电子触控玻璃打造的高产能溅镀平台

智能手机保护玻璃、平板触控面板、智能穿戴显示面板已成为现代消费电子产品最具规模的光学镀膜应用之一。每年全球出货数十亿片的触控与显示面板，需要高产能、高均匀性、高一致性的镀膜设备，以满足消费电子市场“短周期、高周转、高良率”的核心需求。

大永真空 MPS 手机面板溅镀机（Mobile Panel Sputter）是基于大永自主研发的 ARMS 高精密溅镀技术平台，针对大面积手机／触控面板量产需求所优化的专用设备。MPS 采用双组溅镀系统与双组 ICP 电浆源的高产能配置，搭配公转式平面治具与大面积均匀性优化，为消费电子品牌与面板厂提供业界领先的手机面板溅镀量产方案。

双组溅镀系统 + 双 ICP 电浆源｜高产能配置不容妥协

手机面板量产的核心需求是「产能」 —— 日产量动辄上万片的市场规模，需要设备在维持镀膜品质的同时，提供业界领先的单机产能效率。MPS 采用双组溅镀系统的高产能配置，可在同一腔体内同步进行两种不同膜层的沉积，大幅缩短复杂膜系的整体制程时间。

搭配两组大永自制 ICP 感应耦合电浆源，MPS 能在高镀率条件下仍维持优异的气体解离效率与膜质致密性。双 ICP 配置不仅提升产能，更确保大面积基板上的反应一致性，有效避免大尺寸面板常见的中心／边缘膜质差异问题。对于手机保护玻璃、触控面板等大规模量产应用，MPS 提供业界最佳的「产能 × 品质」平衡。

大永最新自研超硬膜技术｜莫氏硬度可达 7、钢丝绒耐磨 10000 次

手机面板每天遭遇手指触控数千次、口袋摩擦、钥匙刮碰等严苛使用情境，镀膜表面的硬度与耐磨性能直接决定产品的长期使用体验与品牌信誉。传统溅镀光学膜虽优于蒸镀，但在面对日益严苛的消费市场规范时，仍有提升空间。

MPS 整合大永最新自主研发的超硬膜技术 —— 透过分离式活化反应溅镀架构、ICP 高密度电浆源、与独家膜层结构设计的精准配合，沉积出的薄膜可达莫氏硬度 7（同等天然石英晶体硬度等级），并通过严苛的钢丝绒耐磨耗 10000 次循环测试，膜层完整性无明显衰减。此一突破性的硬度表现，让 MPS 沉积的手机面板镀膜在耐刮性、抗摩擦损伤方面达到业界领先水准，大幅延长手机保护玻璃的使用寿命，为手机品牌客户提供强而有力的产品差异化卖点。

除超硬膜制程之外，MPS 同样可通过 9H 铅笔硬度测试、橡皮擦磨擦测试、百格附着力测试等消费电子最严苛的可靠度规范，从根本解决传统反应性溅镀的靶毒化问题，确保大规模量产下的镀率稳定与膜质一致，适合手机触控面板长期高频使用环境。

大面积基板均匀性｜手机面板量产的关键优势

手机／平板触控面板的尺寸日益大型化，从 5 吋手机到 13 吋平板，对大面积基板的镀膜均匀性提出极致挑战。MPS 采用公转式平面治具设计，专为大面积平面基板优化，结合分离式靶材区的均匀溅镀流场，确保大尺寸基板的中心至边缘镀膜均匀性。

MPS 的全载点膜厚均匀性可控制在 ±1.5% 以内，确保每片面板的光学特性（色彩表现、反射率、穿透率）高度一致，大幅提升量产良率与品牌一致性。对于需要在「大面积、高产能、高一致性」三方取得平衡的手机面板量产应用，MPS 提供业界最完整的解决方案。