AR/VR Sputter
AVS｜为下一世代沉浸式光学打造的高精密溅镀解决方案
AR/VR Sputter｜Precision Sputtering for Next-Generation Immersive Optics为 AR／VR／MR 沉浸式装置打造的次世代光学溅镀平台
AR／VR／MR 沉浸式装置已成为元宇宙时代的核心硬体，从消费级 VR 头显、AR 智慧眼镜、到企业级混合实境（MR）设备，光学模组是决定使用者沉浸体验的关键元件。然而，AR／VR 光学设计极为复杂 —— Pancake 镜片、Waveguide 波导、菲涅尔透镜、HMD 显示镜组 —— 每一种光学元件都对镀膜的精度、均匀性、与多层膜能力提出极致挑战。
大永真空 AVS 溅镀机（AR／VR Sputter）是基于大永自主研发的 ARMS 高精密溅镀技术平台，专为 AR／VR／MR 高难度光学元件量产所优化的专用设备。AVS 整合分离式活化反应溅镀架构、3D 凸面光学溅镀能力、双组 ICP 高密度电浆源、与多层膜支援，为元宇宙产业提供业界领先的次世代光学溅镀解决方案。
3D 凸面光学濺鍍｜完美应对 Pancake 与菲涅尔复杂几何
AR／VR 镜片的核心挑战是「非平面复杂几何」 —— Pancake 镜片的多层折叠光路、菲涅尔透镜的同心圆微结构、Waveguide 波导的光栅微结构，每一种设计都对溅镀的阶梯覆盖（Step Coverage）能力提出极致挑战。传统蒸镀的指向性沉积特性，难以在这类复杂结构表面达到均匀镀膜。
AVS 结合溅镀制程本身的高动能与优异阶梯覆盖特性，搭配大永独家的 3D 曲面治具设计，可在非平面、凸面、甚至微结构基板上，沉积出均匀、稳定且可重复的光学薄膜。即使在 Pancake 镜片这类具有复杂光路折叠结构的元件上，AVS 仍能维持全面均匀性 ±1% 以内，确保 AR／VR 装置的视觉品质与量产良率。
多层膜｜高精度应对复杂光路设计
AR／VR 光学模组常需精密的多层膜设计 —— 半穿透半反射膜（Beam Splitter）、特定波长的二向色镜（Dichroic Mirror）、极化分光膜（Polarization Beam Splitter）、抗反射 + 防眩光复合膜 —— 每一种膜系都涉及数十层甚至上百层的精密堆叠。
AVS 采用大永独家的分离式活化反应溅镀架构，可实现金属层与氧化层的快速交替堆叠，完成 100+多层膜结构。单层膜厚精度可达 ±0.5nm，中心波长偏差控制在 ±0.5% 以内，完全满足 AR/VR 沉浸式光学对「色彩准确、视觉清晰、光路精准」的核心需求。
双 ICP 高密度电浆｜为光学沉浸体验确保极致膜质
AR／VR 装置的镜片直接贴近使用者眼睛，任何镀膜上的微小瑕疵或膜质不均都会被使用者立即察觉，直接影响沉浸体验。AVS 标配两组大永自制 ICP 感应耦合电浆源，提供业界领先的气体解离与反应效率，确保多层膜的折射率精准与光谱表现的长期稳定。
分离式活化反应架构则有效抑制传统反应性溅镀的靶毒化问题，确保长制程下的镀率稳定与膜质一致。对于 AR／VR 这类「使用者体验为王」的高阶光学应用，AVS 提供业界唯一兼具「3D 曲面能力 + 多层膜精度 + 高膜质致密度」的完整解决方案。
规格表Specifications
| Model | AVS-1650 |
|---|---|
| 产品线 | 高精密光学溅镀镀膜设备 - AR／VR 溅镀机 |
| 腔体规格 | Ø1650 mm 制程腔体｜1650 平台 |
| 基板材质 | 高折射率玻璃（Schott、Hoya 系列）、树脂光学基板、特殊光学镜片 |
| 镀膜技术 | 分离式活化反应磁控溅镀（ARMS-based）｜金属区与反应区分离，突破靶毒化问题 |
| 溅镀系统 | 4 组溅镀系统｜高镀率 + 多元膜系弹性配置 |
| 电浆源 | 2 组大永自制 ICP 感应耦合电浆源｜高效双电浆提升膜质 |
| 治具设计 | 公转式 3D 曲面治具｜专为 Pancake 镜片、Waveguide 等非平面元件优化 |
| 膜层数能力 | 100+多层膜｜对应复杂光学设计 |
| 膜厚精度 | ± 0.5 nm（单层膜）｜± 0.5% 中心波长精度（多层膜） |
| 膜厚均匀性 | ± 1% 以内（全载点，含 3D 曲面） |
| 可成膜材料 | 高／低折射率配对膜系（Ta₂O₅、Nb₂O₅、TiO₂、SiO₂）、高反射金属（Ag、Al）、特殊光学镀材 |
| 极限真空 | LL Chamber ≦ 8 × 10⁻³ Torr｜PR Chamber ≦ 5 × 10⁻⁶ Torr |
| 操作模式 | IPC 全自动 / 手动模式｜长制程连续运行设计 |
| 选配模组 | 客制治具 / 进阶电浆源 |
※ 上述为标准配置，实际规格可依客户应用需求客制化调整。
013D 凸面光学镀膜能力
- 高动能溅镀：溅镀粒子的高动能与优异阶梯覆盖，适合 Pancake、Waveguide 等复杂结构镀膜。
- 3D 曲面治具：公转式 3D 治具专为非平面光学元件设计，确保复杂几何结构的均匀镀膜。
- 全面均匀 ±1%：即使在 3D 凸面结构上，全载点膜厚均匀性仍可控制在 ±1% 以内。
02多层膜支援
- 100+ 层堆叠：可完成 100 层以上多层膜结构，满足 AR／VR 复杂光学设计需求。
- 高精度控制：单层膜厚 ±0.5nm 精度，中心波长 ±0.5% 偏差，确保光路精准。
- 弹性膜系：支援 Beam Splitter、Dichroic、PBS 等各类复杂光学膜系。
03双 ICP 高密度电浆源
- 双电浆配置：两组 ICP 确保大基板上的反应均匀性，提升膜质一致性。
- 高解离效率：大永自制 ICP 提供业界领先的气体解离与反应效率。
- 膜质致密化：高活化反应确保多层膜结构致密、折射率精准、光谱长期稳定。
04分离式活化反应濺鍍架构
- 靶毒化解决：金属溅镀区与反应性电浆区分离，从根本解决靶毒化问题。
- 长期稳定：高速旋转腔体确保长制程下的镀率稳定与膜质一致。
- 高鍍率产能：兼顾高鍍率与长时间稳定运行，适合 AR／VR 量产需求。
05低微粒制程设计
- 低微粒架构：分离式架构与优化流场设计，有效抑制制程微粒生成。
- 高洁净度：确保 AR／VR 镜片表面洁净度，避免影响使用者视觉体验。
- 高良率量产：稳定的微粒水准确保大规模量产的批次间良率一致性。
AVS 结合 3D 凸面光学镀膜、多层膜与双 ICP 高密度等离子体源，为各类 AR／VR／MR 沉浸式装置的光学模块提供业界领先的高精密溅镀解决方案，广泛应用于消费级 VR、企业 MR、AR 智能眼镜等元宇宙核心硬件。
01VR 头戴装置 VR Head-Mounted Displays
VR 头显是当今元宇宙产业最重要的消费级装置，Pancake 镜片设计已成为新世代 VR 的主流光学方案，可大幅缩小装置厚度并提升视觉品质。AVS 的 3D 凸面镀膜能力与多层膜精度，完美支持 Pancake 镜片的精密光学需求。
02AR 智能眼镜 AR Smart Glasses
AR 智能眼镜是元宇宙时代的下一代运算平台，Waveguide 波导技术已成为主流光学方案。AVS 的多层膜能力与高精度膜厚控制，可完整支持 Waveguide 光学元件的精密膜系需求。
03MR 混合现实装置 Mixed Reality Devices
MR 混合现实装置结合 VR 与 AR 的优势，需要同时处理虚拟影像显示与真实世界视觉，光学系统极为复杂。AVS 的高精度多层膜能力与 3D 曲面镀膜，可支持 MR 装置复杂光学模块的量产需求。
04光学模块与光路元件 Optical Modules & Components
AR／VR 系统依赖各种光学模块元件 —— 菲涅尔透镜、自由曲面镜、衍射光栅元件 —— 每种元件都需要特殊的镀膜支持。AVS 的多元膜系能力可为 AR／VR 供应链厂商提供完整镀膜方案。
05下一世代显示与感测 Next-Gen Display & Sensing
元宇宙生态系统不断扩展，新兴的眼动追踪（Eye Tracking）、空间运算感测、全息显示等次世代技术，对光学镀膜提出新的挑战。AVS 的弹性制程与高精度能力，可为 AR／VR 创新应用提供关键制程支持。
