大永薄膜實驗室提供一个完善的平台,具备自主开发设备及多种薄膜量测仪器,专业的研发团队、作业环境和丰富的膜层开发经验,让您能够与进阶的镀膜科技与应用协同合作、从中了解我们全方位的表面处理解决能力,来满足您任何独特的薄膜需求。
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硬质涂层实验设备
DYHC 系列|高性能硬质涂层解决方案
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搭载先进的阴极电弧、DLC 及 HiPIMS 镀膜技术,DYHC 系列可沉积具高硬度、高附着力与多元素组合特性的致密薄膜,支援低温制程,有效保护热敏感基材。
可依不同应用量身打造最适涂层结构,镀制表面光滑、结构致密的功能性薄膜。适用于极端工作环境下对耐磨性、稳定性与使用寿命要求严格的元件,广泛应用于半导体、精密切削刀具、模具、生医器械、汽车零组件与电子元件等高阶制造领域。
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光学薄膜实验设备
DMC 系列|高纯度光学蒸镀解决方案
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采用稳定的电子束蒸镀技术(E-beam),整合离子辅助模组与光学监控系统,可于玻璃或塑胶基材上精密沉积高纯度介电材料,形成单层或多层光学膜,藉由膜层间干涉原理,精准调控光学透射与反射特性。
透过稳定的镀膜能力与模组化配置设计,实现高均匀性与高重现性的膜层品质,适用于抗反射膜、高反射膜、偏光膜、滤光膜与分光膜等光学元件制程,广泛应用于半导体制程与精密光学产业。
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光学薄膜实验设备
ARMS 系列|活化反应溅镀光学解决方案
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采用自主开发的活化反应式磁控溅镀技术(ARMS),结合高速旋转腔体与 ICP 感应耦合电浆离子源,具备低温溅镀、低微粒生成与高膜层均匀性,能实现超过 50 层的精密多层膜堆叠,支援平面与 3D 曲面等多样基材的精密镀膜需求。
适用于红外线滤光片、车载镜头、AR/VR/MR 等光学元件制作,并可应用于温度敏感材料之低温制程,广泛支援半导体与精密光学产业的高阶镀膜需求。
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