• Transparent Conductive R2R Coater

Transparent Conductive R2R Coater

型号 : TCRC

TCRC|为透明导电膜量产打造的大幅宽卷对卷镀膜平台

Transparent Conductive R2R Coater|Large-Format Sputtering for ITO and TCO Films

为透明导电膜量产量身打造的大幅宽卷对卷镀膜平台

透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)薄膜 —— 以 ITO(氧化铟锡)为代表 —— 是现代光电产业的核心元件,广泛应用于触控面板、LCD/OLED 显示器、太阳能电池、电子纸、智慧玻璃等多元领域。随着终端产品不断朝向大尺寸、高良率、低成本方向发展,卷对卷(Roll-to-Roll)制程已成为 ITO 软性导电膜量产的主流选择。

大永真空 TCRC 透明导电卷对卷镀膜机(Transparent Conductive R2R Coater)是针对 ITO 与其他透明导电氧化物量产所优化的大幅宽卷对卷设备。TCRC 采用 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 多元幅宽平台、德国先进电浆监控技术、多靶座弹性配置、与高精度张力控制系统,为触控面板厂、软性电子厂、太阳能模组厂提供业界领先的透明导电膜量产解决方案。

完整幅宽光谱|对应大尺寸量产经济规模

触控面板与软性显示器的尺寸不断扩大 —— 从 6 吋手机屏幕到 27 吋触控显示器、再到大尺寸电子白板与智慧玻璃,终端产品对「大尺寸 ITO 导电膜」的需求持续增加。TCRC 提供 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 五种幅宽选择,涵盖从中型量产到最大尺寸量产需求,可在单次制程中完成大尺寸基材的镀膜,大幅提升量产经济性与单片成本竞争力。

大幅宽镀膜的核心技术挑战是「全幅均匀性控制」 —— 传统大幅宽 R2R 制程常面临边缘效应、批次差异、电浆不稳定等问题。TCRC 导入德国先进电浆即时监控技术,可即时掌握 2000 mm 全幅范围内的电浆状态,使 ITO 镀膜均匀度稳定控制于 ±5% 以下,有效解决大幅宽制程的传统痛点。

ITO 制程深度优化|低电阻、高穿透、量产级一致性

ITO 薄膜的两个核心光电特性 —— 薄片电阻(Sheet Resistance)与可见光穿透率(Visible Light Transmittance) —— 直接决定终端产品的触控灵敏度与显示品质。TCRC 结合 MF(中频)电源与精准的反应性气体控制,可沉积出薄片电阻 <30 Ω/□、光穿透率 ≧ 85~90% 的高品质 ITO 薄膜,完全达到触控面板与显示器产业的量产规范。

TCRC 的多靶座弹性配置(平面靶 + 旋转靶)让客户可依生产需求选择最适配置 —— 旋转靶提供长寿命优势与材料利用率,适合连续量产;平面靶则提供精准膜厚控制,适合特殊应用。对于需要在「电性、光学特性、量产效率、设备折旧」四方平衡的触控与显示器产业,TCRC 提供业界最完整的解决方案。

HiPIMS 选配|高离子化率提升膜质与耐弯折性

传统 ITO 薄膜在弯折环境下容易产生微裂纹,影响软性显示器、可折叠装置等新兴应用的长期可靠度。TCRC 可选配 HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)高功率脉冲电源,透过高离子化率金属电浆,显著提升 ITO 膜层的致密度与附着力,大幅改善薄膜在弯折、拉伸环境下的可靠度表现。

此一 HiPIMS 升级选项,让 TCRC 不仅满足传统刚性 ITO 应用,更能对应软性显示、可折叠装置、可穿戴电子等次世代应用的高阶需求,为大永客户提供完整的「ITO 制程升级路径」。

规格表Specifications

Model TCRC-900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000
产品线 卷对卷镀膜设备 - 透明导电卷对卷镀膜机
幅宽规格 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 多元幅宽|对应主流量产规格
基材厚度 6~50 μm|涵盖超薄至中厚 PET、PI、PEN 等光学薄膜基材
镀膜技术 磁控溅射(Magnetron Sputtering)|可整合 PECVD 选配
电源系统 MF(中频)为主|可选配 DC、HiPIMS 高功率脉冲电源
靶座数量 多靶位设计|平面靶 + 旋转靶弹性配置,旋转靶提供长寿命优势
电浆监控 德国先进电浆即时监控技术|确保大幅宽制程稳定性
膜厚均匀性 ± 5% 以内(2000 mm 全幅范围)
张力控制 高精度张力控制系统|对应超薄至中厚光学基材高速走带
主力镀材 ITO(氧化铟锡)|IZO、AZO、FTO 等替代透明导电氧化物
薄片电阻 可达 <30 Ω/□(典型 ITO 规格,依膜厚与后处理可优化)
光穿透率 ≧ 80%(可见光全波段,典型 ITO 规格)
极限真空 ≦ 5 × 10⁻⁶ Torr
操作模式 全自动 / 手动切换|24/7 连续量产设计
选配模组 PECVD / HiPIMS 电源 / 多元前处理 / 在线电阻量测

※ 上述为标准配置,实际规格可依客户应用需求客制化调整。

01完整幅宽光谱|多元量产规模对应

  • 大幅宽平台:提供 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 五种幅宽选择,对应主流大尺寸量产规格。
  • 经济规模:大幅宽镀膜大幅提升单批次产能,降低单片产品的设备折旧成本。
  • 弹性配置:客户可依产品结构与量产规模选择最适幅宽,实现最佳投资效益。

02德国电浆即时监控|大幅宽均匀性保证

  • 即时监控:导入德国先进电浆监控技术,即时掌握全幅电浆状态。
  • 全幅 ±5%:2000 mm 全幅范围均匀度稳定控制于 ±5% 以下,优于业界水准。
  • 解决边缘效应:有效解决传统大幅宽 R2R 制程的边缘效应与批次差异问题。

03ITO 制程深度优化

  • 低薄片电阻:可达 <30 Ω/□ 的低电阻规格,满足高灵敏度触控应用需求。
  • 高光穿透率:可见光全波段 ≧ 80% 穿透率,确保显示器产品的视觉品质。
  • 量产级一致性:批次间光电特性高度一致,大幅提升下游产品的良率管控。

04多靶座弹性配置

  • 平面 + 旋转靶:平面靶提供精准膜厚控制,旋转靶提供长寿命与高材料利用率。
  • 连续量产设计:旋转靶设计适合 24/7 连续量产,降低换靶停机时间。
  • 替代材料支持:除 ITO 外,亦支持 IZO、AZO、FTO 等替代透明导电氧化物。

05HiPIMS 选配|软性 ITO 升级路径

  • HiPIMS 电源:选配高功率脉冲电源,提升 ITO 膜层致密度与附着力。
  • 耐弯折表现:改善软性 ITO 在弯折、拉伸环境下的可靠度,适用可折叠装置。
  • 次世代应用:为客户提供从传统刚性 ITO 到次世代软性 ITO 的完整升级路径。

TCRC 结合完整幅宽光谱(900~2000 mm)、德国电浆监控、ITO 制程深度优化与 HiPIMS 升级能力,为各类透明导电膜量产应用提供业界领先的卷对卷镀膜解决方案,广泛应用于触控、显示、太阳能、软性电子等多元光电产业。

01触控面板量产 Touch Panel Mass Production

触控面板是 ITO 薄膜最大规模的应用 —— 从智慧型手机、平板电脑、笔电触控板、到大尺寸触控显示器,每年全球出货量达数十亿片。TCRC 的大幅宽平台与低电阻 ITO 制程,完美对应触控面板产业对「大尺寸、高灵敏、量产级」的核心需求。

应用产品

智慧型手机触控面板、平板电脑触控屏幕、笔电触控板、车载中控触控面板、大尺寸触控显示器、智慧白板、互动数位看板、商用 POS 触控屏幕

常见镀膜

ITO 透明导电膜、IZO/AZO 替代透明导电膜、触控感应线路膜、ITO 多层复合导电膜

02显示器与面板产业 Display Panel Industry

LCD、OLED、Mini/Micro LED、电子纸等各类显示器,都需要 ITO 透明电极作为驱动电路的核心元件。TCRC 的高均匀度与量产一致性,确保大尺寸显示面板的色彩表现与长期稳定性,是显示器产业的可靠选择。

应用产品

LCD 显示面板、OLED 显示面板、Mini/Micro LED 显示模组、电子纸显示器、车载显示面板、智慧家居显示模组、商用大尺寸显示屏幕

常见镀膜

显示器级 ITO 透明电极、OLED 阴极/阳极导电膜、电子纸背板电极、特殊显示器透明导电膜

03太阳能电池 Solar Cells

薄膜太阳能电池(CIGS、CdTe、有机太阳能、钙钛矿太阳能)需要透明导电氧化物作为前电极,以同时实现「光线穿透 + 电流收集」的双重功能。TCRC 为新一代软性太阳能电池量产提供关键制程支援。

应用产品

CIGS 薄膜太阳能电池、CdTe 薄膜太阳能、有机太阳能电池(OPV)、钙钛矿太阳能电池、软性太阳能模组、建筑一体化太阳能(BIPV)

常见镀膜

ITO 太阳能前电极、AZO 替代电极、FTO 透明导电膜、特殊高迁移率 TCO 薄膜

04软性电子与可折叠装置 Flexible & Foldable Electronics

可折叠手机、软性显示器、可穿戴电子、软性太阳能等次世代电子产品,需要在弯折环境下仍维持导电与光学性能的软性 ITO 薄膜。TCRC 的 HiPIMS 升级选项,为软性电子产业提供高耐弯折的 ITO 解决方案。

应用产品

可折叠手机屏幕、软性 OLED 显示器、可穿戴电子装置、软性触控感应器、卷曲式显示器、软性电子标签、智慧服饰感应元件

常见镀膜

高耐弯折 ITO 软性膜、复合导电软性膜、ITO/金属奈米线复合膜、特殊机能性软性导电膜

05智慧玻璃与功能性透明导电膜 Smart Glass & Functional TCO

建筑用智慧调光玻璃、汽车智慧天窗、低辐射节能玻璃(Low-E)、电子可控变色窗等新兴应用,使用透明导电膜作为电控变色或热反射的关键元件。TCRC 的大幅宽与多元材料能力,适合此类新兴应用的量产需求。

应用产品

建筑用智慧调光玻璃、汽车智慧天窗、Low-E 节能建筑玻璃、电致变色窗(EC Window)、PDLC 智慧调光膜、加热透明玻璃、抗静电显示器膜

常见镀膜

Low-E 节能膜、电致变色 ITO 膜、加热导电膜、抗静电 ITO 薄膜、特殊功能性 TCO 薄膜

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