TCRC｜为透明导电膜量产打造的大幅宽卷对卷镀膜平台

为透明导电膜量产量身打造的大幅宽卷对卷镀膜平台

透明导电氧化物（Transparent Conductive Oxide, TCO）薄膜 —— 以 ITO（氧化铟锡）为代表 —— 是现代光电产业的核心元件，广泛应用于触控面板、LCD/OLED 显示器、太阳能电池、电子纸、智慧玻璃等多元领域。随着终端产品不断朝向大尺寸、高良率、低成本方向发展，卷对卷（Roll-to-Roll）制程已成为 ITO 软性导电膜量产的主流选择。

大永真空 TCRC 透明导电卷对卷镀膜机（Transparent Conductive R2R Coater）是针对 ITO 与其他透明导电氧化物量产所优化的大幅宽卷对卷设备。TCRC 采用 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 多元幅宽平台、德国先进电浆监控技术、多靶座弹性配置、与高精度张力控制系统，为触控面板厂、软性电子厂、太阳能模组厂提供业界领先的透明导电膜量产解决方案。

完整幅宽光谱｜对应大尺寸量产经济规模

触控面板与软性显示器的尺寸不断扩大 —— 从 6 吋手机屏幕到 27 吋触控显示器、再到大尺寸电子白板与智慧玻璃，终端产品对「大尺寸 ITO 导电膜」的需求持续增加。TCRC 提供 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 五种幅宽选择，涵盖从中型量产到最大尺寸量产需求，可在单次制程中完成大尺寸基材的镀膜，大幅提升量产经济性与单片成本竞争力。

大幅宽镀膜的核心技术挑战是「全幅均匀性控制」 —— 传统大幅宽 R2R 制程常面临边缘效应、批次差异、电浆不稳定等问题。TCRC 导入德国先进电浆即时监控技术，可即时掌握 2000 mm 全幅范围内的电浆状态，使 ITO 镀膜均匀度稳定控制于 ±5% 以下，有效解决大幅宽制程的传统痛点。

ITO 制程深度优化｜低电阻、高穿透、量产级一致性

ITO 薄膜的两个核心光电特性 —— 薄片电阻（Sheet Resistance）与可见光穿透率（Visible Light Transmittance） —— 直接决定终端产品的触控灵敏度与显示品质。TCRC 结合 MF（中频）电源与精准的反应性气体控制，可沉积出薄片电阻 <30 Ω/□、光穿透率 ≧ 85~90% 的高品质 ITO 薄膜，完全达到触控面板与显示器产业的量产规范。

TCRC 的多靶座弹性配置（平面靶 + 旋转靶）让客户可依生产需求选择最适配置 —— 旋转靶提供长寿命优势与材料利用率，适合连续量产；平面靶则提供精准膜厚控制，适合特殊应用。对于需要在「电性、光学特性、量产效率、设备折旧」四方平衡的触控与显示器产业，TCRC 提供业界最完整的解决方案。

HiPIMS 选配｜高离子化率提升膜质与耐弯折性

传统 ITO 薄膜在弯折环境下容易产生微裂纹，影响软性显示器、可折叠装置等新兴应用的长期可靠度。TCRC 可选配 HiPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering）高功率脉冲电源，透过高离子化率金属电浆，显著提升 ITO 膜层的致密度与附着力，大幅改善薄膜在弯折、拉伸环境下的可靠度表现。

此一 HiPIMS 升级选项，让 TCRC 不仅满足传统刚性 ITO 应用，更能对应软性显示、可折叠装置、可穿戴电子等次世代应用的高阶需求，为大永客户提供完整的「ITO 制程升级路径」。