OLS｜为光学镜头打造的高致密溅镀解决方案

为光学镜头量身打造的高精密溅镀平台

从车载 ADAS 镜头、安防监控镜头、机器视觉检测镜头、到工业精密成像系统，光学镜头已成为现代视觉化应用的关键元件。在严苛的使用环境下 —— 车外的高温紫外线、户外的盐雾灰尘、工业现场的化学气体与机械磨耗 —— 传统蒸镀镜头的薄膜常面临附着力衰退、光谱漂移、表面刮伤等问题，直接影响光学系统的长期可靠性。

大永真空 OLS 光学镜头溅镀机（Optical Lens Sputter）是基于大永自主研发的 ARMS 高精密溅镀技术平台，针对高耐用度光学镜头应用所优化的专用设备。OLS 采用分离式活化反应溅镀架构与 ICP 感应耦合电浆源，在玻璃光学镜头上沉积出膜质致密、附着力强、环境稳定性优异的高阶光学薄膜，为车载光学、安防、工业检测等高可靠度应用提供业界领先的镀膜方案。

分离式活化反应溅镀｜蒸镀无法达到的膜质致密度

溅镀制程相较于传统蒸镀，最大的优势在于高动能粒子轰击基板的能量远高于蒸镀，使薄膜原子紧密堆叠、结构致密、附着力显著提升。OLS 采用大永独家研发的分离式活化反应溅镀（Activated Reactive Magnetron Sputtering）架构，将金属溅镀区与反应性电浆区有效隔离，从根本解决传统反应性溅镀的靶毒化（Target Poisoning）问题。

此分离式架构不仅维持了溅镀的高镀率与长时间稳定运行，还能在金属层与氧化层的快速交替堆叠中实现精密膜厚控制。OLS 沉积的光学薄膜可通过严苛的车规级可靠度测试（高温高湿、热冲击、盐雾、机械振动），适合长期暴露于户外与工业环境的高耐用光学镜头应用。

ICP 感应耦合电浆源｜高效解离、优异膜质、长期稳定

OLS 标配大永自制的 ICP 感应耦合电浆源（Inductively Coupled Plasma），提供业界领先的气体解离与反应效率。ICP 电浆源产生的高密度活化反应气体，能与金属离子高效反应形成致密的氧化物／氮化物薄膜，确保光学薄膜的折射率精确度与光谱表现的长期稳定性。

相较于传统 RF 或微波电浆源，ICP 提供更高的电浆密度、更均匀的反应区覆盖、以及更佳的长期稳定性。此一电浆源设计使 OLS 能在大批量量产条件下，持续产出高品质的光学薄膜，批次间的光谱表现高度一致。

大永最新自研超硬膜技术｜玻璃光学镜头达莫氏硬度 7

光学镜头的最外层镀膜直接面对使用环境的摩擦、灰尘、刮伤等物理损伤 —— 车载镜头遭遇路面飞石撞击、安防镜头长期暴露于户外、工业检测镜头频繁接触冷却液与粉尘 —— 传统光学薄膜的硬度往往无法满足这类严苛应用对长期耐用性的需求。

OLS 整合大永最新自主研发的超硬膜技术，针对玻璃光学镜头基板进行制程优化，沉积出的薄膜可达莫氏硬度 7（同等天然石英晶体硬度等级），并通过严苛的钢丝绒耐磨耗 10000 次循环测试。此一突破性的硬度规格，让 OLS 处理的光学镜头在耐刮性、抗摩擦损伤方面达到业界领先水准，大幅延长镜头在严苛使用环境下的使用寿命，为车载、安防、工业等对长期可靠度要求极高的应用提供强而有力的差异化竞争力。

3D 曲面均匀镀膜｜完美适配光学镜头几何复杂性

光学镜头普遍为球面、非球面或自由曲面结构，镀膜均匀性对成像品质至关重要。OLS 结合溅镀制程本身的高动能与优异阶梯覆盖（Step Coverage）能力，搭配公自转行星式治具设计，可在非平面与 3D 曲面光学镜头上，沉积出均匀、稳定且可重复的光学薄膜。

OLS 的镀膜均匀性可控制在 ±1% 以内，配合大永独家的镜头曲率优化算法与客制化治具设计，可满足从消费级镜头到高阶工业检测镜头的全方位量产需求。对于需要在高耐久性、高光学品质、高量产一致性三方面取得平衡的客户，OLS 提供业界最全面的解决方案。