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Glass Lens Coater

型号 : GLC

GLC|为玻璃光学镜头打造的精密蒸镀解决方案

Glass Lens CoaterPrecision Evaporation for Optical Lenses

为精密光学镜头量身打造的专用蒸镀平台

光学镜头是各类成像系统的核心零组件,从相机、车载镜头、安防监控、到工业检测,镜头的成像品质直接决定终端产品的竞争力。然而,光学镜头对薄膜的均匀性、附着力、环境耐受性与多层膜叠加精度,有着远高于一般镀膜的严苛要求。

大永真空 GLC 光学镜头蒸镀机(Glass Lens Coater),是基于大永数十年蒸镀经验、针对玻璃光学镜头应用所优化的专用设备。GLC 整合大永自主研发的高效能离子源、自研光学监控系统(OMS)、以及行星式公自转治具,为相机镜头、车载光学、精密成像等高阶应用,提供稳定可靠的量产级蒸镀解决方案。

自研 IAD 离子辅助系统|实现高致密、高耐候光学薄膜

传统蒸镀薄膜在处理多层光学膜系时,容易因膜层应力与环境温湿度变化导致光谱漂移、附着力衰退等问题。GLC 全机标配大永自制的 18cm / 24cm / 27cm 高效能离子源,于蒸镀过程中同步进行离子辅助沉积(Ion-Assisted Deposition, IAD)。

通过离子束的能量轰击,蒸发原子在基板表面获得更高的迁移能量,使薄膜结构更为致密、附着力显著提升。即便在低温制程条件下,GLC 仍能产出具备优异环境稳定性与机械强度的光学薄膜,通过严苛的高温高湿、盐雾、耐磨耗等车规级可靠度测试。

大永自研光学监控系统(OMS)|多层膜厚度精准命中设计值

光学镜头常见的宽频抗反射膜(BBAR)、多波段截止滤片等高阶膜系,动辄数十层甚至百层膜堆叠,任何一层的膜厚误差都将被放大,直接影响最终光谱表现。GLC 搭载大永自主研发的光学监控系统(Optical Monitoring System, OMS),通过实时光谱侦测技术,精准掌握每一层薄膜的沉积状态。

OMS 系统与设备控制端无缝整合,具备毫秒级的快速修正能力,有效解决长制程中常见的膜厚漂移问题。通过 OMS 的精密控制,GLC 能让多层光学膜系的光谱表现高度贴合设计值,大幅提升良率与批次间一致性。

行星式公自转治具|完美贴合镜头曲率与量产需求

光学镜头多为球面或非球面结构,镜片表面的镀膜均匀性对成像品质至关重要。GLC 采用行星式公自转治具设计,搭配大永自有的镀膜均匀性模拟程序(FAST, Film-thickness Accurate Simulation Tool),可依不同镜头曲率与尺寸客制化治具配置,确保大面积批量镀膜时的厚度均匀性控制在 ±1% 以内。

从研发试样到大规模量产,GLC 提供 1100、1350、1550、1800 等多种腔体规格选择,协助客户在不同发展阶段实现最佳的设备投资与产能扩充规划。

规格表Specifications

Model GLC-1100 / 1350 / 1550 / 1800
产品线 光学蒸镀镀膜设备 - 光学镜头蒸镀机
基板材质 玻璃光学基板(BK7、Fused Silica、蓝宝石、各类光学玻璃)
镀膜技术 电子束蒸镀(E-beam Evaporation) + 离子辅助沉积(IAD)
离子源 大永自制 18 / 24 / 27 cm 高效能离子源(依腔体尺寸配置)
光学监控 大永自研光学监控系统(OMS) - 实时光谱侦测 + 毫秒级修正
膜厚均匀性 ± 1% 以内(全载点)
治具设计 行星式公自转治具,可依镜头曲率与尺寸客制化
可成膜材料 氧化物(SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅、Nb₂O₅、HfO₂、ZrO₂)、氟化物(MgF₂)、金属(Al、Ag、Cr、Au、Pt)
极限真空 ≤ 5 × 10⁻⁶ Torr
操作模式 IPC 全自动 / 手动模式
选配模组 多层膜强化 / 治具设计

※ 上述为标准配置,实际规格可依客户应用需求客制化调整。

01玻璃光学基板专用优化设计

  • 材质适配:针对 BK7、Fused Silica、蓝宝石、各类光学玻璃做制程参数优化,确保附着力与膜质稳定。
  • 高温制程:可承受高温加热制程,使薄膜结晶度与致密性最佳化,适合高阶光学应用。
  • 耐候表现:通过高温高湿、盐雾、耐磨耗等环境测试,适用于户外、车载、工业等严苛环境。

02大永自制高效能离子源(IAD)

  • 自主研发:全机标配大永自制 18cm / 24cm / 27cm 离子源,核心技术自主掌握。
  • 最佳化匹配:离子源依腔体几何精准配置,确保离子流场均匀覆盖整个镀膜载点。
  • 高致密膜质:显著提升薄膜致密性、机械强度与环境耐受力,即使低温制程亦能达到优异膜质。

03大永自研光学监控系统(OMS)

  • 即时侦测:通过光谱分析技术,即时监控每一层薄膜的沉积状态与光学特性。
  • 毫秒级修正:与设备控制端无缝整合,具备快速修正能力,有效解决膜厚漂移问题。
  • 高良率保证:确保多层膜制程中每层厚度精准命中设计值,大幅提升光谱吻合度与量产良率。

04行星式公自转治具与 FAST 模拟程式

  • 客制化设计:依镜头曲率与尺寸提供客制化治具设计,适配各类光学镜头几何形状。
  • 均匀性模拟:搭配大永自有 FAST 程序,可在开机前进行镀膜均匀性模拟,大幅缩短补正版调整时间。
  • 批量量产:公自转设计确保大载量下的均匀性表现,膜厚均匀性可控制在 ±1% 以内。

05完整腔体尺寸选择|对应研发到量产

  • 规格齐全:提供 1100 / 1350 / 1550 / 1800 等多种腔体尺寸,涵盖研发试样到大规模量产需求。
  • 弹性配置:依客户实际应用、产能规划与厂房空间,选择最适合的机型配置。
  • 高稼动率:全自动化控制系统与大永客户服务团队,协助客户在实际生产中维持高稼动率与稳定产出。

GLC 凭借精准的光学监控、强力的离子辅助与行星式治具设计,广泛应用于各类精密光学镜头制造领域,从消费电子到高阶工业检测,皆能提供稳定可靠的量产级镀膜方案。

01精密光学镜头 Precision Optics

高阶成像镜头对光谱特性、像差控制、抗反射性能有极为严苛的要求,GLC 的 OMS 光学监控系统能确保复杂膜堆的精准度,满足消费级到专业级镜头制造需求。

应用产品

单眼/数位相机镜头、显微镜镜片、望远镜镜片、投影机光机元件、雷射光学元件、工业检测镜头

常见镀膜

宽频抗反射膜(BBAR)、高反射膜(HR)、分光镜(Beamsplitter)、截止滤光片(Cut-off Filter)

02车载光学与感测 Automotive Optics

车载镜头需通过严苛的车规级耐候测试(-40°C ~ +85°C 高低温循环、高温高湿、盐雾、耐磨耗等)。GLC 的高致密 IAD 制程能确保薄膜在极端环境下仍维持光学性能与附着力,是车用光学供应链的可靠选择。

应用产品

ADAS 摄像镜头、车内监控镜头、抬头显示器(HUD)反射镜、车载 LiDAR 保护视窗、车灯光学透镜

常见镀膜

红外线穿透/截止滤光片(IR Pass/Cut)、高耐久抗反射膜、冷光镜(Cold Mirror)、车规级镜面镀膜

03安防监控与工业检测 Surveillance & Industrial Inspection

安防与工业检测镜头需在长时间运作下维持光学稳定性,且常遭遇日夜温差、灰尘、湿气等环境挑战。GLC 的多层膜精准度与环境耐受力,能满足 24/7 高可靠度应用需求。

应用产品

IP Camera 镜头、夜视镜头、人脸辨识镜头、AOI 自动光学检测镜头、机器视觉镜头

常见镀膜

可见光/近红外双频段抗反射膜、IR-Cut 滤光片、高反射内视镜片

04雷射与光通讯 Laser & Optical Communication

雷射光学元件对特定波长的高反射率、低吸收率、高雷射损伤阈值有严格要求。GLC 结合 OMS 监控与 IAD 高致密膜质,可制作高品质雷射镜与光通讯滤片。

应用产品

雷射镜(Laser Mirror)、雷射防护镜片、光纤通讯滤光片、波分多工(WDM)滤光片

常见镀膜

高反射膜(HR > 99.9%)、特定波长雷射防护镜(Laser Goggles)、窄频通滤光片(Narrow Bandpass)

05生医光电与感测 Bio-medical & Sensing

生医检测与光学感测元件需要高讯噪比、高稳定性的光学滤光片。GLC 的精密膜厚控制与长期稳定性,可协助客户开发高灵敏度的光学检测系统。

应用产品

荧光显微镜滤光片、内视镜光学元件、3D 结构光感测器、生医检测光谱元件

常见镀膜

窄波段滤光片(Narrow Bandpass)、二向色镜(Dichroic Mirror)、高反射荧光镜

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