Copper Foil R2R Coater
CFRC|为消费电子软性电路板量产打造的卷对卷镀膜平台
Copper Foil R2R Coater|R2R Sputtering for Flexible Copper Clad Laminate (PET-based)为消费电子 FPC 量产打造的卷对卷铜箔镀膜平台
软性电路板(Flexible Printed Circuit, FPC)是现代消费电子产品不可或缺的核心元件 —— 智慧型手机、平板电脑、可穿戴装置、相机模组、车用电子等产品内部,都使用大量 FPC 连接各功能模组。随着消费电子市场规模持续扩大、产品周期不断缩短,业界对 PET 铜箔基板提出更严苛的核心要求:大量量产、高良率、高一致性、低成本。
大永真空 CFRC 铜箔基板卷对卷镀膜机(Copper Foil R2R Coater)是针对 PET 基材软性铜箔基板量产所优化的大幅宽卷对卷设备。 CFRC 采用「种子层 + 主铜层」两阶段溅镀架构、HiPIMS 高功率脉冲强化技术、与精准的多靶位设计,为 FPC 厂、消费电子模组厂、相机模组厂、车用电子厂提供业界领先的 PET 铜箔基板量产解决方案。
HiPIMS 高功率脉冲|PET 基材附着力突破
传统溅镀铜在 PET 聚酯薄膜等高分子基材上,常面临「附着力不足」的技术瓶颈 —— 附着力不足直接导致后段蚀刻、撕贴测试、长期使用时的脱层问题,严重影响 FPC 产品的良率与可靠度。传统解决方案需依赖复杂的化学前处理或特殊涂层,不仅制程繁琐且成本高昂。
CFRC 标配 HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)高功率脉冲电源,透过高离子化率的金属电浆,将溅镀粒子以高动能轰击基板表面,在 PET 等高分子基材上形成原子级的致密界面结构。 HiPIMS 制程沉积的铜膜具有业界顶尖的附着力,可通过严苛的剥离强度测试与环境可靠度测试,完全满足消费电子 FPC、车用电子、相机模组等量产应用的严苛规范。
种子层 + 主铜层两阶段架构|完整覆盖 FPC 制程需求
FPC 铜箔基板的标准制程架构为「种子层(Seed Layer)+ 主铜层(Bulk Copper)」双层结构 —— 种子层提供 PET 基材与铜层之间的附着力过渡与扩散阻隔;主铜层则提供主要导电功能,可进一步透过后段电镀增厚至所需的 μm 级厚度。
CFRC 采用多靶位设计,可在单一机台内完成「种子层精准溅镀 + 主铜层厚膜沉积」的双阶段制程,大幅简化客户的生产流程。种子层厚度可精准控制在 10~50 nm,确保附着力与后段蚀刻制程的工艺相容性;主铜层厚度可达 100~500 nm,可直接作为终端产品使用,或搭配电镀后段制程增厚至客户所需厚度。
超薄 PET 基材适应|对应消费电子微缩趋势
智慧型手机、可穿戴装置等消费电子产品持续朝向薄型化、轻量化发展,连带要求内部 FPC 元件采用更薄的基材以实现更密集的线路布局与更小的元件体积。 CFRC 采用大永独家的高精度张力控制系统,可稳定处理 12.5~125 μm 的超薄至中厚 PET 基材,即使在大幅宽量产条件下,仍能维持基材形状稳定与膜厚均匀性。
CFRC 提供 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 五种幅宽选择,对应 FPC 产业的主流量产规格。从智慧型手机 FPC 的中型量产,到车用电子 FPC 的大规模量产,CFRC 提供完整的卷对卷 PET 铜箔基板量产解决方案,协助客户在「成本、品质、产能」三方取得最佳平衡。
规格表Specifications
| Model | CFRC-900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 |
|---|---|
| 产品线 | 卷对卷镀膜设备 - 铜箔基板卷对卷镀膜机 |
| 幅宽规格 | 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 多元幅宽|对应 FPC 量产主流规格 |
| 适用基材 | PET 聚对苯二甲酸乙二酯薄膜、PEN 聚萘二甲酸乙二酯薄膜、其他主流聚酯薄膜 |
| 基材厚度 | 12.5~125 μm|对应消费电子软性电路板量产需求 |
| 镀膜技术 | 磁控溅射(Magnetron Sputtering)|HiPIMS 高功率脉冲强化选配 |
| 电源系统 | DC + HiPIMS 双模设计|HiPIMS 确保高附着力与量产级可靠度 |
| 靶座数量 | 多靶位设计|平面靶 + 旋转靶配置,支持种子层/铜层多阶段沉积 |
| 镀铜层架构 | 种子层+ 主铜层|可整合电镀后段制程 |
| 种子层厚度 | 10~50 nm 精准控制|确保附着力与后段蚀刻制程相容性 |
| 主铜层厚度 | 100~500 nm 溅镀铜|可搭配后段电镀增厚至 μm 级 |
| 膜厚均匀性 | ± 5% 以内(全幅范围) |
| 极限真空 | ≦ 5 × 10⁻⁶ Torr |
| 操作模式 | 全自动 / 手动切换|24/7 连续量产设计 |
| 选配模块 | HiPIMS 电源 / 等离子前处理 / 线在线电阻量测 / 后段制程整合接口 |
※ 上述为标准配置,实际规格可依客户量产需求客制化调整。
01HiPIMS 高功率脉冲|PET 基材附着力突破
- 超高附着力:HiPIMS 高离子化率金属等离子体,在 PET 基材上提供业界顶尖的铜膜附着力。
- 免复杂前处理:突破 PET 基材附着力瓶颈,免除传统制程繁琐的化学前处理流程。
- 量产级可靠度:通过严苛的剥离强度测试与环境可靠度测试,确保 FPC 产品长期使用无脱层。
02种子层 + 主铜层两阶段架构
- 种子层精准控制:种子层厚度精准控制在 10~50 nm,确保附着力与扩散阻隔。
- 主铜层厚膜:主铜层厚度 100~500 nm,可直接使用或搭配后段电镀增厚。
- 多靶位整合:多靶位设计可在单机完成双阶段制程,简化客户生产流程。
03PET 超薄基材适应
- 12.5~125 μm 对应:对应主流 PET 聚酯薄膜,从超薄到中厚规格全覆盖。
- 高精度张力:大永独家张力控制系统,确保超薄 PET 基材在大幅宽条件下的稳定走带。
- 微缩趋势:支援消费电子产品薄型化、轻量化的材料微缩需求。
04完整幅宽光谱|FPC 多元量产规格
- FPC 主流幅宽:对应 FPC 产业的主流量产规格,无需后段裁切。
- 经济规模:大幅宽镀膜大幅提升量产经济性,降低单片产品成本。
- 弹性配置:依客户产能规模从 900 / 1100 / 1300 / 1700 / 2000 mm 五种规格中选择最適机型。
05整合制程能力|对应后段电镀与蚀刻
- 与电镀相容:溅镀主铜层可作为电镀种子层,与后段电镀制程完美整合。
- 蚀刻友善:种子层设计考量后段蚀刻制程相容性,提升整体良率。
- 后段整合:提供标准化后段制程整合界面,降低客户整线投资门槛。
CFRC 结合 HiPIMS 高功率脉冲技术、种子层+主铜层两阶段架构、PET 超薄基材适应与大幅宽量产能力,为各类消费电子 FPC 应用提供业界领先的卷对卷镀膜解决方案,广泛应用于智能手机、相机模组、可穿戴设备、车用电子等核心消费市场。
01智能手机 FPC Smartphone Flexible Circuits
智能手机是 CFRC 最大的应用市场 —— 每部智能手机内部使用 10~20 条 FPC 连接屏幕、相机、按键、电池等各功能模组。随着手机功能整合度持续提升,FPC 用量持续增长。CFRC 的高附着力 PET 铜箔基板,完全满足手机产业对「质量、产能、成本」的核心需求。
02相机模组与光学感测 Camera Modules & Optical Sensors
相机模组 FPC 是消费电子中要求最严苛的 FPC 类别之一 —— 需要在极小的弯折半径下稳定运作、承受相机自动聚焦的长期机械应力、并维持信号完整性。CFRC 的 HiPIMS 高附着力铜膜,完美对应相机模组 FPC 的严苛规范。
03可穿戴设备与消费电子 Wearables & Consumer Electronics
智能手表、无线耳机、健康穿戴等可穿戴设备,内部使用大量小型 FPC 整合各功能模组。可穿戴设备 FPC 需在极小空间内承受日常使用的弯折与环境变化,对 FPC 的可靠度提出独特挑战。CFRC 为可穿戴电子产业提供完整的 PET 铜箔基板量产能力。
04车用电子 FPC Automotive Electronics FPC
随着汽车电子化、智能化发展,车用 FPC 需求持续增长 —— 车载娱乐系统、ADAS 感测器、电池管理、车内氛围照明、按键控制等都使用大量 FPC。CFRC 的高附着力铜膜可通过车规级可靠性测试,满足车用电子的严苛应用环境。
05新兴应用|柔性电子与消费感测 Flexible & Sensor Electronics
柔性电子标签(RFID)、可穿戴感测器、柔性显示模组等新兴应用,需要在弯折环境下仍维持优异电性的铜箔基板。CFRC 的 HiPIMS 高致密膜质,提供柔性电子产业所需的耐弯折铜箔基板解决方案。