光学
大永真空光学镀膜解决方案介绍
大永真空针对精密光学市场提供三大镀膜设备系列，涵盖高效率蒸镀、高稳定性溅镀的全方位解决方案，满足高阶滤光片、感测元件、显示元件及 AR/VR/MR 等高阶光学应用对于膜层品质、均匀性、附着性与多层堆叠能力的极致要求。
ORBIS 系列｜水平式活化反应溅镀镀膜机
采用水平式结构与活化反应式溅镀技术，实现低温制程、稳定离子源与高纯度膜层堆叠，特别适合 3D 曲面元件与非平面基板。可支援超过 50 层的 superlattice 多层膜镀制，具备「高镀率、高膜质、高稳定性」三大特性，应用于高阶滤光片、反射膜与车载/AR 装置等精密元件。
ARMS 系列｜活化反应溅镀镀膜机
融合磁控溅镀与高速旋转设计，有效分离金属与反应气体作用区，解决靶面毒化与不稳定放电问题，提升膜层均匀性与制程稳定性。可实现低温镀膜，适用于红外线滤光片、车用镜头、AR/VR 凸面镜片等高几何精度要求场景。
DMC系列｜离子辅助光学蒸镀镀膜机
核心采用电子束蒸镀技术，搭配光学监控与离子辅助模组，实现高镀率、高品质与高灵活性的多层光学膜制程。支援从研发到量产的多种腔体规格，广泛应用于反射膜、装饰膜、抗紫外线膜与抗蚀镀膜，适用于光电、感测与工业光学应用。
全系列设备皆搭配大永真空自研智慧监控模组，包括：
- Fast™ 均匀性模拟系统
- Coating Guard™ 光学监控系统
- Plasma Guard™ 等离子监控系统
我们致力于提供高附加价值、环保且稳定的镀膜解决方案，满足多元产业客户的高阶需求。
精密光学涂层应用：
- CIDs：中控显示萤幕
- HUD Mirrors：抬头显示器镜片
- ADAS / LiDAR：先进驾驶辅助系统 / 光达
- Camera：摄影镜头
- Lens：镜片
- Filters：光学滤光片
- Sensor：感测器
- AR / VR / MR：增强现实 / 虚拟现实 / 混合现实
- ToF：飞时测距感测器（Time-of-Flight）