炉内涂镀膜机
型号 :
DYPE
有鉴于全球汽车市场蓬勃发展及全球环境保护趋势,大永真空以节能减碳的概念为出发点,推出了结合PVD及PECVD技术的新制程之DYPE-经济型炉内涂布真空镀膜机。其半制程是在有底涂的基材上蒸镀上一层铝(传统的PVD制程)接着将monomer(化学聚合物)导入气体,透过电浆Plasma,让它产生裂解与聚合,把不需要的成份透过pump排出,留下的则形成结构致密的保护层,此膜层具有高阻隔性(耐热耐酸碱)及亲/疏水性(PECVD制程)。此皆是在同一个真空腔体中分别执行PVD及PECVD的镀膜制程。
特色:
- 设计PECVD双反应区:提高Monomer解离率及提升膜厚均匀度,并缩短制程时间。
- 最佳化排气系统:缩短管路长度,搭配知名厂牌Pump达到最佳排气效果。
- 无暴露于真空环境中之阀杆:免除污染物附着于阀杆表面,降低腔体漏气之机会。
- 触控电脑IPC:可储存较复杂的制程参数及历史纪录,并能执行网路远端控制,Trouble Shooting零时差。
环境模拟测试 :
车灯反射罩、车灯内部框板和车灯内饰品等。