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炉内涂镀膜机

型号 : DYPE

有鉴于全球汽车市场蓬勃发展及全球环境保护趋势,大永真空以节能减碳的概念为出发点,推出了结合PVD及PECVD技术的新制程之DYPE-经济型炉内涂布真空镀膜机。其半制程是在有底涂的基材上蒸镀上一层铝(传统的PVD制程)接着将monomer(化学聚合物)导入气体,透过电浆Plasma,让它产生裂解与聚合,把不需要的成份透过pump排出,留下的则形成结构致密的保护层,此膜层具有高阻隔性(耐热耐酸碱)及亲/疏水性(PECVD制程)。此皆是在同一个真空腔体中分别执行PVD及PECVD的镀膜制程。

传统镀膜制程主要有大气喷涂底漆、真空镀膜及大气喷涂面漆,造成良率低、制程时间长、环境污染、耗能及耗费漆料等问题,而大永真空研发的PVD及PECVD制程,则可将「真空镀膜及面漆结合」(半制程)或是将「底漆、真空镀膜及面漆」(全制程)结合在同一真空腔体中完成,可避免传统制程所会有的问题。新一代的DYPE系列设计中,除了延续DYC系列超高品质外,更加入了Base/Top Coating(基地/面漆)的功能;彻底免除了镀膜前后所需的表面喷涂制程,大大提高生产效率,同时避免了大量喷涂所造成的污染与浪费。




DYPE 1000 DYP1300
DYP1600
DYPE 1800
腔体直径
1000 mm(ø)
1300 mm(ø)
1600 mm(ø)
1800 mm(ø)
腔体高度
1850 mm(H)
自转轴数
1
6
6/8
6/8
有效镀膜直径
700 mm
35mm
480/400 mm
560/460 mm
有效镀膜高度
1500 mm(H)
镀膜方式
镀PVD
蒸镀源数量
14 支
 28 支
 28 支
 28 支
蒸镀电源功率 (kW)
30kW
电浆聚合
MF PECVD Process
极限真空 (Torr)
5 x 10-6  Torr
制程周期
≦10分/周期
18/周期
18/周期
18/周期
需求電源 (3ø 380V )
90 kVA
 90 kVA
95 kVA
95 kVA

特色:

  1. 设计PECVD双反应区:提高Monomer解离率及提升膜厚均匀度,并缩短制程时间。
  2. 最佳化排气系统:缩短管路长度,搭配知名厂牌Pump达到最佳排气效果。
  3. 无暴露于真空环境中之阀杆:免除污染物附着于阀杆表面,降低腔体漏气之机会。
  4. 触控电脑IPC:可储存较复杂的制程参数及历史纪录,并能执行网路远端控制,Trouble Shooting零时差。


环境模拟测试 

主要应用产品:车灯反射罩、车灯内部框板和车灯内饰品等。


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