• 炉内涂镀膜机
  • 炉内涂镀膜机
  • 炉内涂镀膜机

炉内涂镀膜机

型号 : DYPE

有鉴于全球汽车市场蓬勃发展及全球环境保护趋势,大永真空以节能减碳的概念为出发点,推出了结合PVD及PECVD技术的新制程之DYPE-经济型炉内涂布真空镀膜机。其半制程是在有底涂的基材上蒸镀上一层铝(传统的PVD制程)接着将monomer(化学聚合物)导入气体,透过电浆Plasma,让它产生裂解与聚合,把不需要的成份透过pump排出,留下的则形成结构致密的保护层,此膜层具有高阻隔性(耐热耐酸碱)及亲/疏水性(PECVD制程)。此皆是在同一个真空腔体中分别执行PVD及PECVD的镀膜制程。

传统镀膜制程主要有大气喷涂底漆、真空镀膜及大气喷涂面漆,造成良率低、制程时间长、环境污染、耗能及耗费漆料等问题,而大永真空研发的PVD及PECVD制程,则可将「真空镀膜及面漆结合」(半制程)或是将「底漆、真空镀膜及面漆」(全制程)结合在同一真空腔体中完成,可避免传统制程所会有的问题。新一代的DYPE系列设计中,除了延续DYC系列超高品质外,更加入了Base/Top Coating(基地/面漆)的功能;彻底免除了镀膜前后所需的表面喷涂制程,大大提高生产效率,同时避免了大量喷涂所造成的污染与浪费。

DYPE系列规格

排气系统

单排

双扩散系统

型号

DYPE-1300

DYPE-1600

DYPE-1800

DYPE-1800 Dual-DP

腔体直径

1300mm(ø)

1600mm(ø)

1800mm(ø)

1800mm(ø)

腔体高度

1850mm(H)

1850mm(H)

自转轴数

一门6

一门6/8

一门6/8

一门6/8

有效镀膜直径

350mm

480/400mm

560/460mm

560/460mm

有效镀膜高度

1500mm(H)

1500mm(H)

镀膜方式

蒸镀PVD

蒸镀PVD

蒸镀源数量

18 ~ 28

18 ~ 28

蒸镀电源功率(kW)

30kW

30kW

电浆聚合

MF PECVD Process

MF PECVD Process

极限真空(Torr)

5 x 10-6 Torr

5 x 10-6 Torr

制程周期

18/周期

16/周期

需求电源

3相电源 380V 110kVA

3相电源 380V 110kVA

特色

  1. 设计PECVD双反应区:提高Monomer解离率及提升膜厚均匀度,并缩短制程时间。
  2. 最佳化排气系统:缩短管路长度,搭配知名厂牌Pump达到最佳排气效果。
  3. 无暴露于真空环境中之阀杆:免除污染物附着于阀杆表面,降低腔体漏气之机会。
  4. 触控电脑IPC:可储存较复杂的制程参数及历史纪录,并能执行网路远端控制,Trouble Shooting零时差。


环境模拟测试 

主要应用产品:车灯反射罩、车灯内部框板和车灯内饰品等。


相关产品

實驗機

實驗機

钨舟/钨丝

钨舟/钨丝

钼舟

钼舟

铝粒/铝丝

铝粒/铝丝

蒸发舟

蒸发舟

POLYCOLD-Services

POLYCOLD-Services