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卷绕式磁控溅镀机

型号 : DMRC

  • 连续式真空镀膜 R2R 技术应用于多种技术整合

真空 R2R 镀膜技术(Roll-to-Roll Vacuum Coating)是一种适用于柔性基材的高效连续镀膜工艺,能在高真空环境下将功能性薄膜沉积于各类卷对卷材料上,如塑胶膜、金属箔、纤维织物等。该技术不仅具备高速加工能力,还能确保镀层的均匀性与高致密性,使其在光学、电子与装饰应用领域具备极高竞争力。此外,R2R 镀膜可与多种技术整合,如磁控溅射、电浆清洁系统、PECVD 等,进一步提升薄膜的机能性与附着力。

  • 提供高附着力、高纯度且低缺陷的膜层结构

大永真空深耕 R2R 镀膜设备研发,专注于提高镀膜效率与膜层品质。核心技术包括高精度张力控制系统及镀膜源系统,确保在不同基材上实现稳定、高效的沉积过程。透过精准的气体流量控制与电浆辅助技术等,我们的 R2R 设备能够提供高附着力、高纯度且低缺陷的膜层结构,适用于光电产业、太阳能及新能源等先进应用。

  • DMRC满足轻薄、耐用、高机能性膜层需求

DMRC 卷绕式磁控溅镀机可广泛应用于多种产业领域,包括显示技术(OLED、MicroLED)、柔性电子(FPC、触控感测)、新能源(太阳能薄膜、电池隔离膜)等。我们的设备支持多种材料基板,如 PEN、PET、PI 及金属箔材,满足高端市场对轻薄、耐用、高机能性膜层的需求。随着 5G、新能源汽车与可穿戴设备市场的崛起,R2R 镀膜技术将成为未来材料制程的重要推动力,助力客户提升产品附加价值与市场竞争力。

  • 同一制程中完成有机与无机膜层,无须溶剂,环保无污染
  • 制程超越传统大气涂布无法实现之功效
  • 膜厚均匀可控制,实现超薄膜层
  • 膜层高纯度低残杂,表面平滑低针孔
  • 表面性能改质(防刮、高透光、亲/殊水等)
  • 同时配备平面、旋转靶座,靶材型式可选择
  • 允许多个镀膜源(金属、合金、介电材料)同时镀膜
  • 分离式腔体可进行不同压力之各式溅镀或PECVD等镀膜方式

RFID、5G装置、印刷电路板(PCB)、电动车电子元件、触控萤幕、车载显示器、电子纸、偏光片、智慧玻璃、ITO薄膜、软性太阳能电池、钙钛矿太阳能电池、水氧阻隔膜及生物试剂等。

產品應用圖1 產品應用圖2 產品應用圖3 產品應用圖4 產品應用圖5