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离子辅助光学蒸镀镀膜机

型号 : DMC

  • 成熟技术 × 模组设计 × 多样应用

DMC系列是大永真空结合丰富实务经验与技术创新所打造的核心产品之一。采用稳定的电子束蒸镀技术,并整合离子辅助模组与光学监控系统,DMC系列提供高效率与高品质兼备的薄膜制程解决方案。

  • 从稳定出发,打造适用多领域的镀膜解决方案

DMC系列的核心技术是电子束蒸镀(E-beam Evaporation),高能束流能使镀材迅速达到蒸发温度,实现快速且均匀的镀膜效果。这项技术在装饰膜、反射膜、多层光学膜及半导体抗蚀刻镀膜等应用中表现稳定,广泛应用于装饰、光电、光学、感测与工业镀膜等领域。无论是高精度的反射膜、复杂多层膜结构,或是半导体抗蚀刻镀膜,DMC系列皆能稳定地提供理想的薄膜品质。

  • 灵活配置,适应不同产能需求

DMC系列以模组化平台设计,依据不同的制程条件与产能需求,提供多种腔体尺寸选择(800、1100、1350、1500)。无论是研发阶段的小型设备,还是大规模量产的系统配置,皆可灵活调整,实现高效的从开发到量产的过渡。所有机型均可根据需求选配光学监控、离子辅助模组等先进功能,以达到最佳的制程品质。

  • 从研发到量产,大永真空提供全方位支持

DMC系列不仅提供高性能的设备,还提供整合的技术支持,包括样品试镀、制程设计、设备配置选择以及现场调机等服务,协助客户快速建立稳定的生产线。无论您的需求是提升品质稳定性、提高产能,还是优化膜层性能,DMC 系列都能根据实际应用需求,打造最符合要求的真空镀膜解决方案。

  • 制程稳定性:先进的真空系统与精密控温机构,确保在长时间运行中维持稳定的镀膜品质。
  • 模组化配置:根据不同镀膜材料、膜层设计及基材尺寸,提供全系统的配置建议与调整,满足生产需求。
  • 光学监控选配:支持自动光学终点侦测系统,有效提升多层膜的精确度与重复性。
  • 装饰性镀膜:例如眼镜、手机外壳、时尚饰品等,实现美观与耐用的表面效果。
  • 光学镀膜:包括光学元件、镜片、显示器等,提供高透光性、抗反射或抗紫外线功能。
  • 反射膜:应用于太阳能电池、车窗玻璃等,提高光能反射率。
  • 半导体镀膜:用于半导体制程中的抗蚀刻膜、导电膜等,为高科技行业提供关键的表面处理。
  • 光电感测:用于光电感测器、LED等,实现高精度的感应与信号传输。
產品應用圖2 產品應用圖1 產品應用圖6 產品應用圖3 產品應用圖5