光学溅镀镀膜设备
DYPS｜稳定量产导向的光学溅镀镀膜设备
- 为主流光学镀膜制程打造的可靠解决方案
在高端光学镀膜应用中，除了极限性能的突破，长时间稳定运行、良率一致性与制程再现性，同样是量产制造不可或缺的核心条件。
大永真空凭借多年光学蒸镀与溅镀设备整合经验，推出 DYPS 光学溅镀镀膜设备（Dah Young Precision Sputtering System），专为主流光学膜系与量产需求所设计，提供稳定、可靠且具高度弹性的光学溅镀平台。
DYPS 将成熟的磁控溅镀技术导入光学镀膜制程，在兼顾膜层质量与制程稳定度的同时，为客户建立可长期运作、易于放大的量产基础，是光学溅镀制程迈向稳定量产的重要解方。
- 稳定溅镀架构，确保光学膜层质量一致性
DYPS 采用经验证的磁控溅镀结构设计，通过优化靶材配置、基板旋转机构与气体流场控制，使镀膜过程维持高度稳定。
此设计可有效降低制程波动，确保膜层厚度均匀性与光学特性在不同批次间保持一致，特别适合长时间连续生产的量产型应用需求。
溅镀制程本身具备高动能粒子特性，使薄膜结构更加致密，有助于提升光学膜层的耐久性与环境稳定度，满足量产型光学元件对可靠性与一致性的严格要求。
- 灵活靶位配置，支持多样光学膜系设计
DYPS 腔体设计具备多靶位配置弹性，可兼容多种金属与化合物靶材，支持单层或多层光学膜结构设计。
无论是反射膜、抗反射膜（AR Coating）、滤光膜或保护膜结构，DYPS 均能提供稳定的制程控制能力，协助客户快速建立成熟且可重复的量产制程。
通过模块化设计理念，DYPS 可依实际应用需求选配加热系统、离子辅助模块与制程监控组件，进一步提升膜层质量、制程弹性与整体设备适应性。
- 等离子监控系统加持，精准掌握反应性溅镀薄膜均匀度
为进一步提升反应性溅镀制程的可控性，DYPS 光学溅镀镀膜设备整合等离子监控系统（Plasma Monitoring System），可实时监测溅镀过程中等离子状态的变化，包括放电稳定度、反应性气体影响与制程漂移趋势。
通过实时等离子信号反馈，DYPS 能协助制程工程师精准调控反应性溅镀条件，使薄膜成分与沉积状态维持在稳定区间，有效降低因反应性气体波动所造成的膜厚不均与光学特性偏移问题。
此一监控机制特别有助于提升：
- 可进行低温溅镀，适用于温度敏感基材。
- 搭载高效率的 ICP（感应耦合等离子）等离子源，提升反应活性与镀膜质量。
- 有效降低镀膜过程中的微粒生成，确保膜层均匀与表面洁净度。
- 为量产而生的光学溅镀平台
相较于追求极限制程条件的高端系统，DYPS 更着重于设备可靠性、操作稳定性与维护便利性。
其设计理念以量产导向为核心，协助客户降低制程风险、缩短学习曲线，并在实际生产环境中维持高稼动率与稳定产出。
DYPS 特别适合应用于：
- 消费型光学元件
- 车用与工业用光学滤光片
- 平面光学镜片与保护膜
- 中高端光学镀膜量产线
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高重现性设计：优化靶材配置与气体流场控制，将制程波动降至最低，确保大批量生产中，每批次的光学特性（如折射率、穿透率）具备高度一致性。
- 致密膜质结构：利用溅镀粒子的高动能特性，沉积出结构紧密、无孔隙的薄膜，显著提升膜层的环境稳定度与机械耐久性。
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动态制程修正：整合等离子监控系统（Plasma Monitoring System），实时侦测放电状态与气体反应波动，有效抑制反应性溅镀中常见的「制程漂移」现象。
- 提升均匀度：通过信号回馈精确调控反应气体流量，确保大面积膜层的面内均匀度，降低不良率。
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多靶位弹性设计：腔体支持多种金属与化合物靶材切换，可灵活设计 AR（抗反射）、滤光膜、金属反射膜等多层光学结构。
- 功能性选配：可依据产品需求加装离子辅助（Ion-Source）或加热模块，进一步强化特定基材的附着力与膜层性能。
- 量产导向逻辑：系统设计简化操作流程并缩短学习曲线，同时兼顾维护便利性，确保设备具备高稼动率（Up-time），满足全天候量产环境的需求。
DYPS(Dah Young Precision Sputtering System)定位为「稳定量产导向的光学溅镀平台」，特别适合需要高一致性、可长时间运转、良率可控的光学镀膜应用。其典型应用产业如下：
1. 消费型光学（Consumer Optics）
DYPS 非常适合应用于大批量生产的消费型光学元件，兼顾膜层质量与生产效率。
典型应用包含：
- 手机与平板用光学滤光片
- 相机镜头用 AR(抗反射)膜
- 显示器保护玻璃与光学保护膜
- 智能穿戴装置光学元件
※ 重点需求：批次一致性高、制程稳定、成本可控
2. 车用与工业光学(Automotive & Industrial Optics)
在车用与工业领域，光学镀膜的重点在于可靠度、环境稳定性与长时间量产能力，这正是 DYPS 的强项。
典型应用包含：
- 车用光学滤光片(IR Cut / Bandpass Filter)
- 车载摄像机与传感模块光学元件
- 工业视觉系统用光学滤片
- 传感器防护与功能性光学膜层
※ 重点需求：耐久性高、制程可重现、长时间稳定生产
3. 光学滤光片与功能性薄膜(Optical Filters & Functional Films)
DYPS 具备良好的反应性溅镀控制能力，搭配等离子监控系统，可稳定量产多种功能性光学膜系。
典型应用包含：
- 光学膜层抗反射膜(AR Coating)
- 反射膜与增反膜
- 可见光／红外光滤光片
- 功能性保护与耐磨光学膜
※ 重点需求：膜厚均匀、光谱稳定、制程重现性高
4. 平面光学元件与量产型镜片(Flat Optics & Volume Optics)
针对以平面或低曲率基板为主，但产量要求高的光学应用，DYPS 提供非常成熟且可靠的解决方案。
典型应用包含：
- 光学膜平面光学镜片
- 光学盖板玻璃
- 工业用光学窗口
- 光学模块用保护膜
※ 重点需求：设备稼动率高、维护简单、制程稳定
