蒸溅两用镀膜机
型号 :
DYSP
DYSP系列为立式双门蒸/溅双用真空镀膜机,独特的蒸溅两用设计,产品运用范围更加广泛,本机腔体直径为1.3~1.8m,腔体高度为1.8m,适合各种生产规模的客户使用。
本机型适用于一般的蒸/溅镀材料,包括铝、铜、铬、不锈钢和其他靶材,取决于最终产品和相对应的膜层要求。大永经过长时间研究及改进,并通过多家大型知名企业长期及大量的采用,制造出最适合生产线使用的机型。DYSP系列提供附着性、高宽深比、工件曲面膜厚不均等问题的解决方案,将有助于提高产能效率,提高产品的质量。
型号 |
DYSP 1300 |
DYSP 1600 |
DYSP 1800 |
腔体直径(mm) |
1300 mm |
1600 mm |
1800 mm |
腔体高度(mm) |
1850 mm |
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自转轴数 |
一门 6 轴 |
一门 14 轴 |
一门 6/8 轴 |
有效镀膜直径(mm) |
350 |
280 |
500/430 |
有效镀膜高度(mm) |
1500 |
1500 |
1350 |
镀膜方式 |
溅镀 PVD |
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极限真空(Torr) |
5x10-6Torr |
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抽气效率 |
2x10-4Torr ≦ 5min |
2x10-5Torr ≦ 8min |
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需求电源(kVA) |
3 相电源 380V 100kVA |
3 相电源 380V 130kVA |
3 相电源 380V 150kVA |
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DYSP系列可应用于3C电子通讯产品,如移动电话、PDA、GPS、NB以及医疗器材、芯片、投影机等防电磁波干扰。
- 应用范例:凹凸曲面反射鏡、防制电磁波辐射干扰(Electromagnetic Interference;EMI)
- 技术应用,主要针对笔记本电脑、手机及其他各类3C产品的防电磁波干扰。