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蒸溅两用镀膜机

型号 : DYSP

DYSP系列为立式双门蒸/溅双用真空镀膜机,独特的蒸溅两用设计,产品运用范围更加广泛,本机腔体直径为1.3~1.8m,腔体高度为1.8m,适合各种生产规模的客户使用。

本机型适用于一般的蒸/溅镀材料,包括铝、铜、铬、不锈钢和其他靶材,取决于最终产品和相对应的膜层要求。大永经过长时间研究及改进,并通过多家大型知名企业长期及大量的采用,制造出最适合生产线使用的机型。DYSP系列提供附着性、高宽深比、工件曲面膜厚不均等问题的解决方案,将有助于提高产能效率,提高产品的质量。

型号 DYSP 1300
DYSP 1600
DYSP 1800
腔体直径(mm) 1300 mm
1600 mm
1800 mm
腔体高度(mm) 1850 mm
自转轴数 一门 6 轴
一门 14 轴
一门 6/8 轴
有效镀膜直径(mm) 350
280

500/430

有效镀膜高度(mm) 1500
1500
1350
镀膜方式 溅镀 PVD
极限真空(Torr) 5x10-6Torr
抽气效率 2x10-4Torr ≦ 5min

2x10-5Torr ≦ 8min

需求电源(kVA) 3 相电源 380V 100kVA
3 相电源 380V 130kVA
3 相电源 380V 150kVA

  1. 操作简单:延续DYC系列的优点,采用触控屏幕及One Touch设计。
  2. 扩充佳:采用双溅镀靶区及多蒸镀源设计,扩充性极佳。
  3. 不污染:特殊蒸溅镀系统设计,不会互相污染。
  4. 效率:抽气速率快,同一生产周期内可使用蒸镀及溅镀功能。
  5. 均匀:延续NCVM系列的设计,膜厚均匀稳定。
  6. 环保:无废水、废气及噪音的污染。
  7. 节能:帮浦变频设计,节能并降低成本。

DYSP系列可应用于3C电子通讯产品,如移动电话、PDA、GPS、NB以及医疗器材、芯片、投影机等防电磁波干扰。

  • 应用范例:凹凸曲面反射鏡、防制电磁波辐射干扰(Electromagnetic Interference;EMI)
  • 技术应用,主要针对笔记本电脑、手机及其他各类3C产品的防电磁波干扰。



     

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