高精密光学溅镀镀膜设备
- 为高端光学膜层而生的创新溅镀解决方案
延续在光学蒸镀领域的深厚工程基础，大永真空研发团队自主研发推出 ARMS（Activated Reactive Magnetron Sputtering）高精密光学溅镀镀膜设备，成功将磁控溅镀技术导入高端光学薄膜制程，专为高膜质、高稳定性与高一致性的光学应用而打造。
- 核心技术｜分离式活化反应溅镀 × 高速旋转腔体设计
ARMS 采用创新的高速旋转腔体结构，将金属溅镀区与反应性等离子体区有效分离，使基板在制程中高速往返于两区之间，实现金属层与氧化层的快速交替堆叠。
该设计成功突破传统反应性溅镀中常见的靶中毒（Target Poisoning）问题，避免因沉积速率下降及辉光放电不均而导致的膜质劣化，确保设备可长时间稳定运行，同时兼顾高沉积速率与高膜层品质。
- 三大制程优势｜专为精密光学而设
- 低溫濺鍍能力 - 适用于温度敏感型基材，满足高端光学及先进传感器元件的应用需求。
- 高效率 ICP 感應耦合電漿源 - 提升反应性气体的解离与活化效率，确保膜层致密，光学性能稳定一致。
- 低微粒生成設計 - 有效抑制制程微粒生成，实现高均匀性与高表面洁净度的光学薄膜。
- 从平面到曲面｜全面掌控光学膜层均匀性
ARMS 采用分离式靶材区与耦合等离子体区设计，可分别导入惰性气体与活化后的反应性气体，大幅降低反应气体对靶材的干扰风险，提升整体溅镀稳定性及大面积均匀性。
结合溅镀制程本身的高动能特性与优异的阶梯覆盖能力，ARMS 即使在非平面及 3D 曲面基材上，亦能沉积出均匀、稳定且具高度重复性的光学膜层。
- 应用场景｜对应新一代高端光学需求
ARMS 特别适用于对几何精度要求极高的光学应用，包括：
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车载镜头及自动驾驶用 IR Cut Filter（红外截止滤光片）
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AR／VR／MR 设备中的 3D 凸面光学元件
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高一致性、多层结构的先进光学滤光片
- 灵活架构 × 多层堆叠能力
ARMS 将溅镀制程的高致密特性导入光学镀膜，可实现超过 50 层以上的 Super Lattice（超晶格）多层膜结构设计。
腔体支持多靶位配置，灵活兼容单靶或双靶设计，并可预混制程气体以提升解离与活化效率，进一步突破反应性溅镀限制，全面实现：
高沉积速率＋高膜质＋高稳定性。
- 特点
- 分离式活化反应溅镀
- 金属溅镀区与反应性等离子体区有效隔离，从根本上解决靶中毒（Target Poisoning）问题。
- 高速旋转腔体设计
- 基板在两区之间高速往返，实现金属 / 氧化层快速交替堆叠，同时兼顾高沉积速率与长时间稳定运行。
- 三大制程优势
- 低温溅镀
- 高效 ICP 感应耦合等离子体
- 低微粒制程
对温度敏感型基材更加友好，适用于先进传感器元件及高端光学材料。
提升气体解离与反应效率，确保膜层致密，光学性能稳定一致。
有效抑制微粒生成，提升薄膜洁净度与大面积均匀性。
- 卓越膜层掌控能力
- 3D 曲面均匀镀膜能力
- 结合高动能溅镀与优异的阶梯覆盖（Step Coverage）能力，曲面基材同样保持高度一致性。
- 超过 50 层多层堆叠
- 支持 Super Lattice 超晶格结构，满足高端光学设计需求。
- 高度灵活配置
- 多靶位（单靶 / 双靶）设计，制程气体可灵活混合与活化调节。
- 产业应用
大永真空研发的 ARMS（Activated Reactive Magnetron Sputtering）设备，专为对“精度、稳定性、一致性”具有极致要求的高端光学膜层而生。凭借其独特的分离式活化反应设计与低温制程优势，ARMS 已成功导入以下关键产业领域：
1. 智能移动设备与可穿戴设备（Consumer Electronics）作为精密光学需求量最大的市场，ARMS 提供高产能与卓越膜质的双重保障：
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3D 感应与识别：手机 Face ID 散斑投射器、LiDAR 接收端窄带滤光片。
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隐藏式传感器：应用于屏幕下环境光传感器（ALS）的高透光光学感应薄膜。
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高硬度防护：蓝宝石玻璃镜头保护片用高硬度增透膜（AR）或特殊增色膜。
2. 先进车用电子（Automotive & Autonomous）
对应自动驾驶与智能座舱对安全性与耐候性的严苛标准：
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自动驾驶核心：高一致性的 LiDAR 窄带带通滤光片，有效过滤环境杂讯。
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视觉成像系统：车载镜头组件、自动驾驶专用 IR Cut Filter（红外截止滤光片）。
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信息显示技术：抬头显示器（HUD）挡风玻璃或反射镜上的精密多层组合膜。
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驾驶监控：DMS 疲劳检测系统所需的红外专用光学元件。
3. 元宇宙与虚拟现实（Metaverse & AR / VR / MR）
针对新一代显示技术，克服复杂光路设计的挑战：
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3D 凸面光学元件：AR / VR / MR 设备中高难度的非平面镜片镀膜。
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高精密滤光片：具备多层结构且要求高度一致性的先进光学滤镜，优化视觉沉浸感。
4. 半导体与晶圆级光学（WLO & Semiconductor）
发挥 ARMS 低温溅镀与高均匀性的制程优势：
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晶圆级封装：在 CMOS 图像传感器（CIS）晶圆上直接进行精密光学镀膜。
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微机电系统（MEMS）：适用于微型投影与扫描镜头所需的特殊高反射镀膜。
5. 生物医疗检测与科学分析（Biomedical & Environmental）
利用超过 50 层 Super Lattice（超晶格）的光谱筛选能力：
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医疗诊断：PCR 检测设备、生化分析仪内部的精密分光元件。
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专业显微技术：具备极高截止深度与高透过率的荧光显微镜滤片。
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环境监控：用于水质或气体特定波长检测的窄带传感滤片。
6. 卫星航天与通信（Aerospace & Communication）
应对极端环境下的信号传输需求：
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激光通信：低轨卫星间传输所需的高耐候性、高反射镜与滤光片。
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防护涂层：为在太空极端辐射与温差环境下运行的光学组件提供保护。
- 为什么选择 ARMS？
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高沉积速率与高膜质：彻底解决靶中毒问题，兼顾生产效率与膜层致密性。
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曲面掌控能力：优异的阶梯覆盖能力，从平面到 3D 曲面均可实现高度均匀。
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极低微粒生成：确保每一片光学元件都具备最高等级的洁净度。
