• ARMS｜专为精密光学打造的光学溅镀镀膜机

除了持续深耕光学蒸镀领域，大永真空研发团队亦成功开发自有技术——活化反应溅镀镀膜机ARMS（Activated Reactive Magnetron Sputtering Coating Machine），将磁控溅镀的特性创新导入高阶光学膜制程。 ARMS光学溅镀镀膜机采用腔体高速旋转设计，巧妙分离金属溅镀与反应性气体的交互影响，使基板能在金属靶面与反应性电浆区间高速切换，实现金属与氧化膜层的快速交替堆叠。 此创新设计可长时间稳定运行，突破传统反应性溅镀制程因靶毒化而造成的二个主要缺点：低镀率与靶材面异质辉光放电破坏膜质，大幅提升膜层品质与制程效率，为高阶光学镀膜应用带来全新解方。

ARMS活化反应溅镀镀膜机透过将溅镀过程与反应性气体的交互作用分离，搭配腔体高速旋转设计，使基板在运行中依序接触靶材面与电浆区，实现金属膜与氧化膜的快速切换与堆积。此一技术可支援长时间稳定运作，并具备三大关键优势：

1. 可进行低温溅镀，适用于温度敏感基材。
2. 搭载高效率的 ICP（感应耦合电浆）离子源，提升反应活性与镀膜品质。
3. 有效降低镀膜过程中的微粒生成，确保膜层均匀与表面洁净度。

• 从平面到曲面，ARMS实现全方位光学膜层控制

ARMS具有靶材区与电浆源区，此电浆源区亦可称为耦合电浆区。于制程中分别导入惰性气体与活化后的反应性气体，能降低靶材于溅镀过程所受反应性气体的影响，提升溅镀稳定性，并维持薄膜的高品质与大面积均匀性。此外，溅镀制程本身具备高分子动能与优异阶梯覆盖能力，让 ARMS 在非平面基材上也能沉积出均匀稳定的膜层。此特性特别适合应用于自驾车产业之车载镜头与其他具3D凸面的基板类光学膜(AR/VR/MR) 等应用场景。

此特性特别适用于具高阶几何形貌要求的光学应用，例如自驾车用红外线滤光片（IR Cut Filter）、车载镜头，以及 AR／VR／MR 等新兴领域中所需的 3D 凸面光学镀膜需求，展现极高的应用价值与发展潜力。

• 灵活配置与多层堆叠能力，全面升级光学溅镀制程效能

大永真空将此溅镀制程导入光学镀膜应用设备，一方面引进溅镀的优点，让膜层可更加致密与紧实，同时可以设计超过50层以上的super lattices形式的多层膜结构，腔体设计具有可调控多点靶位，可以相容更多种不同溅镀材的金属靶材，单靶与双靶设计更加灵活运用，通入的制程气体更可提前混和让解离活化率更高，并有效改善反应性溅镀的缺点，进一步赋予设备「高镀率」、「高膜质」、「高稳定性」的性能大永真空将此溅镀制程导入光学镀膜应用设备，一方面引进溅镀的优点，让膜层可更加致密与紧实，同时可以设计超过50层以上的super lattices形式的多层膜结构，腔体设计具有可调控多点靶位，可以相容更多种不同溅镀材的金属靶材，单靶与双靶设计更加灵活运用，通入的制程气体更可提前混和让解离活化率更高，并有效改善反应性溅镀的缺点，进一步赋予设备「高镀率」、「高膜质」、「高稳定性」的性能。

• 全机全自动化控制(IPC & PLC)，可镀制高阶光学膜与复合式多层膜光学镀膜。
• 靶位靶材更换方便，可客制化单靶位设计与双靶位安装，大幅提升镀膜效率。
• 全自动化镀膜软体，参数设定方便，可直接载入光学设计档，并模拟完成光谱后再进行制程镀制，机台可选配远端连线观察制程中情形。
• 完整的制程参数档与历史纪录档，便利于使用者读取历史资料进行分析与优化，可设定纪录存档每间隔秒数。
• 机台安装多组急停开关设置，提升人员操作安全性，可选配运输台车方便loading与unloading。
• 机台具备材料基板Holder进预载输送腔室，能实现连续大批次生产目标，可24小时连续不中断生产。
  

抗反射膜、截止滤光片、衰减滤光片、分光滤光片、装饰膜、反射镜、带通滤光片等。