静电消散（ESD）镀膜技术｜精准电阻控制、抗静电、防护机能提升

• 采用阴极电弧镀膜技术进行物理气相沉积（PVD），可稳定控制镀膜表面电阻值于 10⁶～10⁸ Ω 区间，有效实现静电消散功能。

薄膜特性

• 表面电阻值：10⁶～10⁸ Ω（静电消散等级）
• 外观颜色：灰黑色（L≒35）

可镀基材

• 铜
• 各类钢铁
• 铝合金
  
• 部分非导电材质（e.g. 氧化铝）
  

应用

• 半导体晶圆载盘与基座、半导体晶圆传送机构、半导体封装与测试设备（检验夹具）