大永真空设备以 「打造智慧且高效的镀膜设备，服务半导体与精密光学产业」 为企业愿景，致力于提供智慧化、高产能、高稳定的镀膜解决方案。

针对 半导体市场， 解决方案涵盖 抗电浆蚀刻镀膜、 ALD 原子层沉积系统、 ESD 静电消散镀膜、 SiC 碳化硅镀膜、 DLC 类钻碳镀膜 等关键应用。

针对 精密光学市场， 提供涵盖 蒸镀、溅镀 和 ALD 原子层沉积系统 的全方位技术支援。

专业镀膜设备搭载自有开发之先进软件系统，包括 Fast™ 均匀性模拟、 Coating Guard™ 光学监控 与 Plasma Guard™ 电浆监控系统， 实现镀前预测与制程中即时调控，全面提升稳定性与产能。

大永真空，以智慧镀膜技术为核心，为您实现稳定且高精密的镀膜制程。