溅射

溅镀之原理是在真空腔体中以靶材为阴极,通入惰性气体,气体内少量的自由电子受到外加电场作用,电子在电场中会被加速获得能量,在低压分子间平均自由径比常压长,故电子会有较长的加速距离而获得高的能量,高能量的电子经由碰撞运动将动能转移至惰性气体上,使得气体分子被离子化形成电浆,因电场的作用下,气体中的正离子受到阴极靶材端所吸引,加速撞击靶材表面。基于动量转换原理,离子轰击产生了二次电子另外还会将靶原子给击出,而沉积于工件上,此动作称为溅镀。

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