• 光学蒸镀镀膜机

光学蒸镀镀膜机

型号 : DMC-EB

光学薄膜广泛应用在各种生活用品,藉由不同的膜层堆叠及设计,利用光学干涉效应产生各种效果,镀出不同功能的薄膜。


抗反射膜可使手机的拍照功能更清晰、眼镜上的重影减少;长波通滤光片能减弱萤幕发出之蓝光以保护眼睛;色彩镀膜让太阳眼镜或泳镜具有漂亮的颜色外观;高反射镜能应用在背光板,以增强反射光的强度,使照明更清楚,更可依需求设计不同波段的滤光片。


大永DMC系列光学设备,具有独特的光学监控系统,可于腔体内量测广波域光谱,计算真空中折射率,更易进行tooling值计算。并可利用导纳轨迹的演算法,有效选择切点,完成高品质薄膜。

 产品型号

 DMC Series

 产品名称

 多功能光学镀膜机

 适用基材

 Polycarbonateglass

 沉积技术

 电阻式蒸镀、电子枪蒸镀(辅以离子源助镀)

 镀层材料

 氧化物TiO2,ZrO2,Al2O3,SiO2,ZnO,ITO
 金属膜:Al,Ti,Cr,Cu,Ag,Pt,Pd,Au
 氮化物TiN,Si3N4

 涂层颜色

 依客户需求设计 

 腔室材质

 SUS304

 操作系统

 IPC+PLC 自动、手动控制。

 腔体尺寸

 Ø1100, Ø1350,Ø1500mm

 极限真空(Torr)

 真空度优于6 x 10-7 Torr

 操作真空度

 2 x 10-4 Torr~2 x 10-5 Torr

 抽气速率

 常温常压下,洁净、干燥且无素材的腔体,从大气抽至1 x 10-5   Torr15分钟。

 膜厚量测系统

 石英监控

 加热系统

 最高250℃150℃(30分内到达)

 回转机构

 五片式行星式公自转

 操作接口

 17吋触控工业计算机

 电力需求

Ø1100:三相380V,50/60Hz,80kVA;单相110V,50/60Hz,1kVA

Ø1350:三相380V,50/60Hz,80kVA;单相110V,50/60Hz,1kVA

Ø1500:三相380V,50/60Hz,120kVA;单相110V,50/60Hz,1kVA

 冷却水需求

流量

       Ø1100:100L/min

       Ø1350:150L/min

       Ø1500:180L/min

温度 20~25(不可结露)
入水压力 5~6 kg/cm²
回水压力≦0.5kg/cm²
pH7.5~8.5
电导率 <600μS/cm
微粒尺寸 <100μS

 压缩气体需求

 6~8 kg/cm²

 制程气体需求

 Ar纯度99.99%
 O2纯度99.99%

  • 制程稳定,镀膜再现性高。
  • 自动化镀膜软件,设定方便,直接加载光学设计文件及仿真完成光谱。
  • 完整的制程参数及历史纪录,便利于用户读取历史数据及分析。
  • 双语接口、图像模式,易于操作。
  • 独立安全回路电源、多组急停开关设置,提升人员操作安全性。

泳镜、太阳眼镜、各式滤光片、抗反射膜、手机背盖......等产品。