• 磁控溅镀镀膜机

磁控溅镀镀膜机

型号 : DYAC-SP

溅镀是在真空腔体中通入气体,高电压下产生辉光放电形成电浆,携带能量之正離子轰击破裂的波纹之薄膜材料料表面而将靶材之原子或分子撞击出且沈积在基板上形成薄膜 ,其飞向基板之力较传统热蒸镀法大,故薄膜品质相对较高。

大永DYAC系列溅镀设备,具有独特的电源控制系统,可于腔体内形成稳定偏压,计算出精准的占空比。并利用优秀的腔体设计形成稳定的电浆态,借此达到优秀的镀膜效果。独立电源连接靶座设计也使的靶材利用率与离化率提升,进而大量节省生产成本。更可与其他技术结合如:电子束辅助、磁控溅镀、非平衡控溅镀、射频溅镀、HiPIMS,来提高溅镀能力以及应用在不同的溅镀材上。

 产品型号  DYAC-1212-SP
 适用基质  导电金属
 涂层技术  DC直流溅镀

 涂层材料

 依製程而定

 涂层颜色  依制程而定
 腔室材质  不锈钢SUS304
 操作系统  IPC & PLC
 重量  ~6000kg
 零部件品牌  霍廷格Huttinger、普发Pfeiffer、莱宝Leybold…等欧美厂牌
 排气系统  普发Pfeiffer、莱宝Leybold…等欧美厂牌
 腔体直径  Ø1200mm
 腔体高度  H1200mm
 自转轴数  6~12轴(依制程而定)
 有效镀膜直径  Ø960mm
 有效镀膜高度  H850mm
 镀膜方式  DC直流溅镀
 溅镀源数量  6支
 溅镀电源功率(kW)  20kW
 极限真空(Torr)  5*10E-6 Torr
 制程周期  依制程而定
 需求电源  3 Phase/380V/170kW/50-60Hz 依製程而定
  1. 全自动化控制(IPC & PLC),复合式多层膜镀膜系统。
  2. 腔体搭配行星式公自转机构,适合各种尺寸工件大批量镀膜生产。
  3. 可控制脉冲频率、脉冲工作周期,以获得高密度电浆,进而沉积致密的薄膜。
  4. 可进行金属薄膜、金属玻璃薄膜、合金薄膜、氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜与、碳氮化物薄膜与氮氧化物薄膜之研究。
  5. 溅镀制程中不会产生其他有害物质,可节省湿制程造成之环安处理费用
  6. 膜层表面致密性高, 功能性与色泽均优于传统湿制程电镀
  7. 低置式腔体搭配行星式公自转机构,适合各种尺寸工件大批量镀膜生产。
  8. 符合欧盟CE安全标准与技术规范(选配)。
  9. 置具台车方便Loading /Unloading生产,提供生产效率

金属装饰、五金、手工具、机械加工、模具...等领域

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