表面轮廓量测仪
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表面轮廓量测仪(Alpha-step) |
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型 号： |
Alpha-step IQ |
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试片大小： |
< 150x150 mm |
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最大扫瞄长度 : |
10 mm (解析度：0.01 µm@2 µm/s) |
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最大垂直范围： |
2000 μm (解析度：0.0119 Å@20 μm) |
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扫描速度： |
2 ~ 200 μm/s |
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功 能： |
量测试片之表面粗糙度量测及表面轮廓 |
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