类钻碳(DLC)镀膜

 


类钻石(Diamond-like Carbon,DLC)是一种非晶形的碳材料,其诸多的材料性质类似于钻石,例如高硬度、耐磨耗、低摩擦系数,因而得名为类钻石。 DLC涂层具坚硬、表面光滑等特性,透过不同的制程调适,应用于广泛的商业领域。

镀制DLC膜的常见方法有电浆增强化学气相沉积法(Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)、离子束辅助沉积法(Ion-beam Assisted Deposition,IBAD)、溅射沉积法(Sputtering Deposition) 、磁过滤阴极电弧法(Filtered Cathodic Arc Deposition,FCAD)、脉冲雷射沉积法(Pulsed Laser Deposition,PLD)等。一般DLC膜可藉由调控制程参数(例如基板偏压、电浆密度......)以控制膜中sp3键的比例,达到优异的机械性质,例如硬度可从10 GPa调控到40 GPa 。

       


规格


         

                             
 
     

应用

特性

  • 切削刀具涂层
  • 钻头涂层
  • 模造玻璃脱膜层
  • 光碟模具
  • 汽、机车摩润零件
  • 机械零组件
  • 装饰镀膜
  • 阻隔包装材料
  • 医用植入体材料
  • 液晶配向膜
  • 电阻式记忆体
  • 高硬度
  • 低摩擦系数
  • 附着力佳
  • 高致密度
  • 耐磨耗
  • 良好脱模性
  • 电绝缘性
  • 耐腐蚀性
  • 高化学稳定性
  • 具生物相容性
  • 可于室温下成长



解决方案