• 高效率表面电浆处理设备

高效率表面电浆处理设备

型号 : DYPC

本设备采用自动化传输架构并搭配专利电极,利用电浆来快速进行表面清洁、表面改质或粗糙化等制程。适用于高分子材料基板,可有效提升后续制程之可靠度。

型号

DYPC-9069

抽气时间 40秒达0.1 Torr以下
载台尺寸 906 690 80 mm (可客制)
传动系统 自动进出载台
排气系统 鲁式帮浦+油回转帮浦
主设备体积(W D H) 2760 1205 1846 + 400(mm)
工作参考空间(W D H) 436038002400(mm) 
  1. 专利设计之特殊电浆电极,电浆均匀性佳
  2. 高密度电浆源,电浆效率高,减少制程时间
  3. 特殊之气体进气、扩散及抽气系统设计
  4. 可使用多种制程气体,设备稳定度高易维护
  5. 在线电浆频谱监控(option)
  6. 可根据客户需求设计专用特殊规格之机台,并设定单边或双边操作
  1. 去除PCB电路板钻孔加工时产生的胶渣
  2. 可对目前电子纸或一般软性基材或FPC做表面改质
  3. 塑料材料表面有机物污染物的清洁
  4. 塑料材料表面改质或粗糙化

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