• 电子束光学蒸镀镀膜机

电子束光学蒸镀镀膜机

型号 : DMC EB

光学薄膜广泛应用在各种生活用品,藉由不同折射率材料的堆叠及设计,利用光学干涉现象使光产生各种效果,镀出不同功能的光学多层膜。

彩色装饰膜让太阳眼镜或泳镜具有漂亮的颜色外观;高反射镜能应用在背光板,以增强反射光的均匀性,增加照明效率。更可依需求设计不同功能的滤光片。

大永DMC-EB系列光学设备有高度制程灵活性,多坩锅的配置可于真空中完成多层膜制程,增加产出效率。并透过石英振荡片精准监控薄膜厚度与镀率,提高制程稳定性。



DMC 1350 EB
DMC 2350 EB
适用基质
玻璃、高分子基质
沉积技术 热阻舟蒸镀、电子枪蒸镀
镀层材料 氧化物:TiO2, Al2O3, SiO2
金属膜:Al, Ti, Cr, Cu, Ag, Pt, Pd, Au
腔体尺寸  (mm) Ø1350
Ø2350
回转机构
 行星式公自转、伞架式公转
极限真空 (Torr)
优於 5 x 10-7
优於 8 x 10-7
抽气速率
從大气抽至1 x 10-5  Torr ≦15分钟
电子枪数量
1
石英监控系统
旋转6点式
加热系统
最高250℃,150℃ (30分內到达)
操作介面
17吋触控工业电脑
操作系統
IPC+PLC 自动、手动控制
电力需求 (3ø 380V )
80 kVA
135 kVA
冷却水需求  
150 L/min
200 L/min
压缩气体需求
6~8 kg/cm²

  • 基材种类限制少。
  • 制程稳定性、再现性高。
  • 自动化镀膜软体,设定方便,直接载入光学设计档进行制程。
  • 完整的制程参数与历史纪录,便利于使用者读取历史资料进行分析与优化。
  • 双语介面、图像模式,易于操作。
  • 独立安全回路电源、多组急停开关设置,提升人员操作安全性。

泳镜、手机背盖、太阳眼镜......等产品。

      

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