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多靶位溅镀镀膜机

型号 : DYC-SP

DYC-SP 为立式双门、四靶位、双扩散系统真空镀膜机,本机腔体直径为 1.8M, 腔体高度为 1.85M,广泛应用于通讯设备、计算机、消费型电子产品、电器、机械及塑料等领域,适合各种生产规模的客户使用。

DYC-SP 系列提供多靶位安装配置的解决方案,将有助于提高镀膜均匀性及实现多层薄膜制程。

型号

DYC-1800-SP

排气系统

单排双扩散

腔体直径(mm)

1800

腔体高度(mm)

1850

自转轴数

一门 6/8 

有效镀膜直径(mm)

500/430

有效镀膜高度(mm)

1350

镀膜方式

溅镀 PVD

极限真空(Torr)

5x10-6Torr

抽气效率

2x10-5Torr  8min

需求电源(kVA)

相电源 380V 150kVA

※原厂标凖设定只供参考,任何配置,其设置将有所不同。 

 

  1. 多溅镀靶靶位设计:可调整靶位位置使用,提高镀膜均匀性,并可放置不同 靶材,实现多层薄膜制程。
  2. 优化排气系统:缩短管路长度,搭配知名厂牌 Pump 达到最佳排气效果。
  3. 排气效率提升:双扩散排气系统设计,有效缩短排气时间。
  4. 触控计算机 IPC:可储存较复杂的制程参数及历史纪录,并能执行网络远程控制, Trouble Shooting 零时差。
  1. 非金属基材表面金属化
  2. 塑料组件抗静电层
  3. 塑料件、五金装饰
  4. 车灯,配件反射面镀铝

   

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