阴极电弧类钻碳镀膜机
型号 :
DYHC DLC
DLC涂层拥有高硬度、低摩擦系数、高致密度、耐磨耗、耐腐蚀性等特点,薄膜可于低温下沉积,因此广泛应用于切削刀具涂层、钻头、汽车摩润零件、装饰镀膜(如手表外壳、手机外壳)、机机械零件、各种模具等产品中。
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DYHC 1000 DLC |
适用基材 |
金属 |
沉积技术 |
阴极电弧沉积 |
镀层材料 |
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涂层颜色 |
依客户需求设计 |
腔室材质 |
SUS304 |
操作系统 |
IPC&PLC |
重量 |
~5000 kg |
零部件品牌 |
霍廷格Huttinger、普发Pfeiffer、莱宝Leybold…等欧美厂牌 |
排气系统 |
普发Pfeiffer、莱宝Leybold…等欧美厂牌 |
腔体直径 |
Ø1000 mm |
腔体高度 |
H1000 mm |
自转轴数 |
7轴(可依据产品需求 ,设计其他型式) |
有效镀膜直径 | Ø228 mm |
有效镀膜高度 |
H750 mm |
电弧源数量 |
10组 |
电弧电源功率 (kW) |
10 kW |
极限真空(Torr) |
5×10-6 Torr |
制程周期 |
依制程而定 |
需求电源 |
3 phase,380 V ±5% ,150 A ,60 Hz ,独立接地 |
- 全自动化控制(IPC & PLC),复合式多层膜镀膜系统。
- 可进行金属薄膜、金属玻璃薄膜、氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜、碳氮化物薄膜与氮氧化物薄膜之研究。
- 采集制程工艺数据、生产警报数据、方便数据采集及设备维修。
- 镀膜制程中不会产生其他有害物质,可节省湿制程造成之环安处理费用。
- 膜层表面致密性高, 功能性与色泽均优于传统湿制程电镀。
- 低置式腔体搭配行星式公自转机构,适合各种尺寸工件大批量镀膜生产。
- 符合欧盟CE安全标准与技术规范(选配)。
- 置具台车方便Loading /Unloading生产,提供生产效率。
- 双语介面、图像模式,易于操作。
- 独立安全回路电源、多组急停开关设置,提升人员操作安全性。
应用:滚珠轴承、涡轮零件、铝挤压模具、粉末冶金模具、医疗器材、机械零组件、切削刀具、模具、汽机车摩润零件、液晶配向膜、电阻式内存......等。