• 阴极电弧类钻碳镀膜机

阴极电弧类钻碳镀膜机

型号 : DYHC DLC

工具镀膜的目的主要是为了提高工件的表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦系数,提高工件的使用寿命;另方面主要应用在各种刀剪、切削刀具(如铣刀、刨刀、钻刀、切割刀等等)、各种五金工具(如螺丝刀、钳子等)、各种模具等产品中。

大永真空硬质涂层设备具独特的腔体设计与电源配置,可根据客户需求提供客制化靶材点位设计以满足客户需求。并可选配磁过滤管,每个弧靶前附磁过滤管串连可依客户需求进行调整,借以增加靶材离化率,减少靶材颗粒附着,降低生产成本,提升镀膜品质。




DYHC 1000 DLC 
适用基材
金属
沉积技术 阴极电弧沉积
镀层材料
    •  金属膜(Ti, CrAgCuAl...等)
    •  氮化物膜(TiN, CrNTiAlNAlCrN
    •  碳化物膜(DLCTiCTiCN)
    •  氧化物膜(TiOZnO...等)
涂层颜色 依客户需求设计
腔室材质 SUS304
操作系统
IPC&PLC
重量 ~5000 kg
零部件品牌 霍廷格Huttinger、普发Pfeiffer、莱宝Leybold…等欧美厂牌
排气系统
普发Pfeiffer、莱宝Leybold…等欧美厂牌
腔体直径
Ø1000 mm 
腔体高度
 H1000 mm
自转轴数
 7轴(可依据产品需求 ,设计其他型式)
有效镀膜直径 Ø228 mm 
有效镀膜高度 H750 mm
电弧源数量
10组
电弧电源功率 (kW)
10 kW
极限真空(Torr)
5×10-6 Torr
制程周期
依制程而定
需求电源
3 phase,380 V ±5% ,150 A ,60 Hz ,独立接地

  1. 全自动化控制(IPC & PLC),复合式多层膜镀膜系统。
  2. 可进行金属薄膜、金属玻璃薄膜、氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜、碳氮化物薄膜与氮氧化物薄膜之研究。
  3. 采集制程工艺数据、生产警报数据、方便数据采集及设备维修。
  4. 镀膜制程中不会产生其他有害物质,可节省湿制程造成之环安处理费用。
  5. 膜层表面致密性高, 功能性与色泽均优于传统湿制程电镀。
  6. 低置式腔体搭配行星式公自转机构,适合各种尺寸工件大批量镀膜生产。
  7. 符合欧盟CE安全标准与技术规范(选配)。
  8. 置具台车方便Loading /Unloading生产,提供生产效率。
  9. 双语介面、图像模式,易于操作。
  10. 独立安全回路电源、多组急停开关设置,提升人员操作安全性。

应用:半导体、医疗器材、机械零组件、切削刀具、模具、汽机车摩润零件、液晶配向膜、电阻式记忆体......等。

             

 

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